オプション

水晶板

UCR-5MAG-12

アルバック

ULVACの水晶発振式成膜コントローラ用センサに対応した水晶板UCRシリーズ。

特長

  • クラス最少の輻射熱による周波数変化で、成膜中の温度特性に優れています。
  • シャッタ開閉時のふらつきや熱衝撃の変化が小さく、レート安定性も良いので長寿命。
  • マルチセンサ(CRTS-12NS)対応の専用ケースにより、水晶板1枚ずつの取り出しの他、工具を使わずに12枚を即座に交換する事が可能です(特許出願中)

用途

  • メタル膜、光学膜

仕様

型式 UCR-4MAG-12 UCR-5MAU-12 UCR-5MAG12
推奨用途 有機材料膜(OLEDパネル) メタル膜、光学膜
周波数 4MHz 5MHz
寸法 φ12.4
電極 Ag Au Ag
対応成膜コントローラ CRTM-9200 CRTM-6000G/CRTM-9200
(上記を含むULVACが販売した全CRTMシリーズに対応)
搭載可能センサ シングルセンサ(CRTS-4, 6, 0, 4U, 6U)
マルチセンサ(CRTS-12NS, M6)
電極表面 鏡面仕上げ 標準仕上げ
梱包形態 マルチセンサ対応ケース(12pcs)

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