水晶板
水晶板の導入・購入・検討について
水晶板UCRシリーズは、蒸発源などの熱源からの影響を最小限に抑え、個体差も少ないため、正確な膜厚測定に最適です。有機材料向けには、独自の特許技術で製造された4MHz水晶板を使用し、低レート制御をサポートします。これにより、精密な成膜プロセスを実現し、品質向上に貢献します。
水晶板の導入・購入・検討について
水晶板UCRシリーズは、蒸発源などの熱源からの影響を最小限に抑え、個体差も少ないため、正確な膜厚測定に最適です。有機材料向けには、独自の特許技術で製造された4MHz水晶板を使用し、低レート制御をサポートします。これにより、精密な成膜プロセスを実現し、品質向上に貢献します。
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