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シングルセンサ
CRTSシリーズ（single）
CRTS-6U
アルバック
CRTMシリーズに用いるセンサで、様々な蒸着装置に広くご使用頂くために豊富なラインナップを用意しております。
特長
- ベーキングの有無、使用温度などの条件によりタイプの選択可能
- コンパクトなセンサヘッドで装置内での配置が容易、高寿命タイプのオシレータの選択も可能
- パイプ長の指定、曲げ可能の指定が可能
仕様
| シングルセンサ | |||||||
| 型式 | 汎用タイプ | CRTS-0 | CRTS-4 | CRTS-6 | CRTS-4U | CRTS-6U | |
| 長寿命タイプ | CRTS-80 | +水冷ジャケット | ー | ー | ー | ー | |
| 用途 | 80℃以下の蒸着 | 300℃以下の蒸着 | 100℃以下の蒸着 | 200℃以下の蒸着 | 超高真空装置100℃以下蒸着 | 超高真空装置200℃以下蒸着 | |
| 搭載クリスタル数 | 1 | ||||||
| 対応クリスタル | 4MHz,5MHz（6MHz 詳細仕様は別途ご相談下さい） | ||||||
| 水冷パイプ | パイプ長 | ー | 100-800mm | ||||
| 外径 | ー | 6ｍｍ | 4ｍｍ | 6ｍｍ | 4ｍｍ | 6ｍｍ | |
| 水冷水量 | ー | 400cc/min | 200cc/min | 400cc/min | 200cc/min | 400cc/min | |
| 接栓 | ー | 3/8インチ | 1/4インチ | 3/8インチ | 1/4インチ | 3/8インチ | |
