HPS-1000N-200｜HPSシリーズ｜EB電源｜EBガン・EB電源｜製品情報｜ULVAC SHOWCASE

EB電源

HPSシリーズ

HPS-1000N-200

アルバック

アルバックの多年にわたる技術の蓄積と実績をもとに、回路の安定化と性能の向上を図ったエレクトロンビーム蒸発源対応の電源です。
EBガンコントローラEGC-10GSと組み合わせてご使用いただくことにより、光学薄膜用EBガンおよび、金属薄膜用EBガンの両方に対応することができます。

特長

  • 冷却水不要
    強制空冷方式のため冷却水が不要
  • 高信頼性
    装置メーカーとして蓄積したノウハウを設計にフィードバック
  • 簡易な操作性
    操作パネルに液晶タッチパネルを採用したことにより、操作性が向上
  • スイープ波形バリエーション
    操作画面上で様々なビームのスキャンフォーム作成が可能
  • 高速アーク遮断機能
    高速アーク遮断により、蒸着レート低下を最小限に抑える回路を構成
  • 低レベルアークコントロール機能（光学用途向けオプション）
    光学用途で発生する微小なアークを制御し安定した蒸着が可能

用途

  • 金属膜用真空蒸着

仕様

型式 HPS-1000N-100 HPS-1000N-200
入力仕様 入力電圧 3相　AC190～231V
入力容量 14kVA 15kVA
出力仕様 定格電力 10kW
電圧範囲 -4k～-10kV
リップル率 定格出力の±2%以下
ビーム電流 0～1000mA
冷却方式 強制空冷
外形寸法 W×D×H 494×701×712mm （突起物含まず）
質量 120kg 145kg
適合規格 CE

該非判定結果報告書
ダウンロード

SDSダウンロード

オプションパーツ・消耗品

EBガン・EB電源　オプション
高電圧導入端子　BERH311A 電流導入端子　PTS-004 アース端子　ERZ-003 大気圧確認器　DTA-002 水冷導入端子　DK5203-045

取扱説明書・仕様書
ダウンロード

アプリケーション
ダウンロード

図面ダウンロード

技術資料ダウンロード

このサイトでは、お客様の利便性や利用状況の把握などのためにCookieを使用してアクセスデータを取得・利用しています。Cookieの使用に同意する場合は、
「同意しました」をクリックしてください。「個人情報保護方針」「Cookie Policy」をご確認ください。

同意しました