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EB電源

HPSシリーズ

HPS-1600F-DS100

アルバック

アルバックの多年にわたる技術の蓄積と実績をもとに、回路の安定化と性能の向上を図ったエレクトロンビーム蒸発源対応の電源です。
EBガンコントローラEGC-10GSと組み合わせてご使用いただくことにより、光学薄膜用EBガンおよび、金属薄膜用EBガンの両方に対応することができます。

特長

  • 冷却水不要
    強制空冷方式のため冷却水が不要
  • 高信頼性
    装置メーカーとして蓄積したノウハウを設計にフィードバック
  • 簡易な操作性
    操作パネルに液晶タッチパネルを採用したことにより、操作性が向上
  • スイープ波形バリエーション
    操作画面上で様々なビームのスキャンフォーム作成が可能
  • 高速アーク遮断機能
    高速アーク遮断により、蒸着レート低下を最小限に抑える回路を構成
  • 低レベルアークコントロール機能(光学用途向けオプション)
    光学用途で発生する微小なアークを制御し安定した蒸着が可能

用途

  • 金属膜用真空蒸着

仕様

型式 HPS-510S HPS-1600F
-DS100
HPS-1600F
-DS200
HPS-1600F
-DS101
入力仕様 入力電圧 3相 AC190~231V
入力容量 7kVA 21kVA 22kVA 21kVA
出力仕様 定格電力 5kW 16kW
電圧範囲 -4k~-10kV
リップル率 定格出力の±2%以下
ビーム電流 0~500mA 0~1600mA
冷却方式 強制空冷
外形寸法
W×D×H
電源 480×620×300mm
(突起物含まず)
500×700×710mm (突起物含まず)
ガンコントローラ 480×480×149mm (突起物含まず)
質量 電源 50kg 113kg 136kg 113kg
ガンコントローラ 20kg 17kg
EBガンのフィラメントが交換後にすぐ断線してしまう。

フィラメントとビームフォーマーが接触していませんか?

該非判定結果報告書
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取扱説明書・仕様書
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アプリケーション
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図面ダウンロード

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