電子銃
電子銃の導入・購入・検討について
EB蒸着用の電子銃（電子ビームガン）は、電子ビームを利用して材料を加熱・蒸発させる装置です。従来の抵抗加熱に比べて高温にできるため、融点の高い材料でも効率的に蒸発させることが可能です。また、精度が高く、均一な薄膜形成ができるのも大きな特徴です。アルバックにも様々な用途に対応した電子銃（電子ビームガン）がラインナップされております。
電子銃（電子ビームガン）は、EB蒸着プロセスの中核を担い、以下の役割を果たします：
・電子ビームの生成
電子銃から高エネルギーの電子ビームを発射します。
・材料の加熱
発射された電子ビームが蒸着材料（例：金属や酸化物）に照射され、そのエネルギーによって材料が局所的に高温に加熱されます。
・材料の蒸発
加熱された材料が蒸発し、真空チャンバー内に拡散します。
・薄膜形成
蒸発した材料が基板表面に堆積し、均一で高品質な薄膜を形成します。
当社では、お客様の用途やプロセスに応じたさまざまな電子銃をラインナップしております。最適な電子銃の選定をサポートいたしますので、ぜひご相談ください。
フラットトップ_金属用電子銃_EGNシリーズ
EGNシリーズは、長年にわたる技術の蓄積と実績を基に、高い性能と信頼性を実現した電子銃（電子ビームガン）です。フラットトップ構造を採用することで、着膜の影響を最小限に抑えながら、優れたメンテナンス性を確保。さらに、二次電子吸収機構の性能を安定的に維持します。
これにより、EGNシリーズは幅広い用途で優れたパフォーマンスを発揮し、電子ビーム蒸着プロセスの効率と品質向上に貢献します。
フラットトップ_金属用電子銃_EGNシリーズ
EGNシリーズ
EGNシリーズは、反射電子吸収機構を搭載し、新たにメンテナンス性の向上に主軸を置いて開発した金属蒸着用電子ビーム蒸発源です。
フラットトップ構造の採用により、電子ビーム蒸発源への着膜面積が少なくなり、高いメンテナンス性を実現しております。
実験用_金属用電子銃_EGKシリーズ
アルバック製電子銃（電子ビームガン）EGKシリーズは、アルバックが長年にわたって蓄積してきた技術と実績を基に、性能と信頼性の向上を実現した電子銃（電子ビームガン）です。本製品は、実験や小規模生産に最適です。
実験用_金属用電子銃_EGKシリーズ
EGKシリーズ
EGK-3型電子ビーム式蒸発源は、ULVACの多年にわたる技術の蓄積と実績をもとに、性能と信頼性の向上を計ったものです。
この蒸発源は最大投入電力5kWのハースをもっています。
るつぼ容量は2.6ccとなっており、実験用、小規模生産用に適しています。
金属用電子銃_EGLシリーズ
アルバック製電子銃（電子ビームガン） EGLシリーズは、アルバックが長年にわたって培った技術と実績を基に、性能と信頼性を向上させた装置です。本製品は、メタル蒸着を中心とした小規模から大規模な生産に最適です。
金属用電子銃_EGLシリーズ
EGLシリーズ
電子ビーム式蒸発源EGLシリーズは、ULVACの多年にわたる技術の蓄積と実績をもとに、性能と信頼性の向上を計ったものです。
EGLシリーズは様々な種類のガンをラインナップしており、任意の多層膜蒸着、厚膜の高速蒸着、超高真空での実験用として使用いただくことが可能です。
光学用電子銃_EGOシリーズ
アルバック製電子銃（電子ビームガン） EGOシリーズは、、アルバックの長年にわたる技術の蓄積と実績をもとに、特に光学膜用に開発されたものです。本製品は、光学膜蒸着を中心とした小規模から大規模な生産に最適です。
電子銃_オプション
アルバック製電子銃（電子ビームガン）のオプションとして、高圧導入端子、電流導入端子、アース端子、真空確認器、及び水冷導入端子をご用意しております。ご要望に応じて、適切なオプションをお選びいただけます。
