EGK-3M

アルバック

電子ビーム式蒸発源EGK-3Mは、ULVACの多年にわたる技術の蓄積と実績をもとに、性能と信頼性の向上を図ったものです。
この蒸発源は最大投入電力5kWの4点切換式ハースをもっています。
るつぼ容量が2.9ccのるつぼを4点もっており、任意な多層膜蒸着が可能です。

特長

加速電圧		-4kV～-10kV
ビーム電流		0.5A MAX
最大投入電力		5kW（-10kV／0.5A）
X軸マグネットコイル		-0.4A～-3.5A／-18V DC MAX 約2.2Ω（20℃）
フィラメント		0～12V AC
		0～40A max
るつぼ	数	4
	容量	2.9cc
	寸法	21Φ×17.5Φ×10H
電子ビーム偏向角		225°
有効蒸発角度		90°以上
蒸着速度		0.6μm/min以上アルミ5kW、ハース直上250Hにて
冷却水量	ハース	8L/min以上 0.7MPa（最大圧力）
	コイル	1L/min以上 0.7MPa（最大圧力）
水温		15～25℃
外形寸法		140W×126H×207D
質量		約5kg
適用電源		HPS-510S・HPS-1000N
備考		冷却水は比抵抗5kΩ・cm以上の水質を推奨します。
Y軸マグネットコイル（オプション）		0～±1.2A／±12VDVmax 約1.7Ω（20℃）
備考		冷却水は比抵抗5kΩ・cm以上の水質を推奨します。ワイヤーフィーダー取付可能

特長

るつぼ容量2.9ccの4点切換式ハースの採用により、任意な多層膜蒸着が可能です。

電子ビームは225°偏向するため、蒸発材料からの上記に曝されることがなく、フィラメントは長寿命です。

電子ビームは、電磁場によって偏向するため、被蒸着体に与える二次電子の影響が少ないです。

昇華性の物質でも、ビームスポットをX軸・Y軸方向に走査させることにより、部分的な穴掘現象をなくし、円滑に蒸発させることができます。

エミッタアッセンブリの脱着が容易なため、フィラメント・絶縁碍子などの消耗部品の交換が簡単です。

仕様

加速電圧		-4kV～-10kV
ビーム電流		0.5A MAX
最大投入電力		5kW（-10kV／0.5A）
X軸マグネットコイル		-0.4A～-3.5A／-18V DC MAX 約2.2Ω（20℃）
フィラメント		0～12V AC
		0～40A max
るつぼ	数	4
	容量	2.9cc
	寸法	21Φ×17.5Φ×10H
電子ビーム偏向角		225°
有効蒸発角度		90°以上
蒸着速度		0.6μm/min以上アルミ5kW、ハース直上250Hにて
冷却水量	ハース	8L/min以上 0.7MPa（最大圧力）
	コイル	1L/min以上 0.7MPa（最大圧力）
水温		15～25℃
外形寸法		140W×126H×207D
質量		約5kg
適用電源		HPS-510S・HPS-1000N
備考		冷却水は比抵抗5kΩ・cm以上の水質を推奨します。
Y軸マグネットコイル（オプション）		0～±1.2A／±12VDVmax 約1.7Ω（20℃）
備考		冷却水は比抵抗5kΩ・cm以上の水質を推奨します。ワイヤーフィーダー取付可能