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金属膜用EBガン
EGKシリーズ
EGKｰ3
アルバック
EGK-3型電子ビーム式蒸発源は、ULVACの多年にわたる技術の蓄積と実績をもとに、性能と信頼性の向上を計ったものです。
この蒸発源は最大投入電力5kWのハースをもっています。
るつぼ容量は3ccとなっており、実験用、小規模生産用に適しています。
この蒸発源は最大投入電力5kWのハースをもっています。
るつぼ容量は3ccとなっており、実験用、小規模生産用に適しています。
特長
- 容量3ccハースの採用により、小規模生産に適しています。
- 電子ビームは電磁場によって偏向するため、被蒸着体に与える二次電子の影響が極めて少ない。
- 昇華性の物質でもビームスポットをX軸、Y軸方向にスキャンニングさせることにより部分的な穴掘現象をなくし、るつぼ全体を円滑に蒸発させることができる。（日本国特許831485、843447号所有）
- 電子ビームは225°偏向するため、蒸発材料からの蒸気にさらされることがなく、フィラメントは長寿命です。
- エミッターアッセンブリーの脱着が容易なため、フィラメント、絶縁碍子などの交換が簡単です。
仕様
| 加速電圧 | -4kV～-10kV DC | |
| ビーム電流 | 0.5A max (at -10kV) | |
| 最大入力 | 5kW（-10kV、0.5A） | |
| X軸偏向コイル | 0.4～3.5A -18VDCmax 22Ω（20℃） |
|
| フィラメント | 0～6V AC 40Amax | |
| るつぼ | 容積 | 2.6cc |
| 寸法 | 21Φ×15.6Φ×10H | |
| ビーム偏向角 | 225° | |
| 有効蒸発角度 | 90°以上 | |
| 蒸着速度 | アルミ5kW時 0.5μm/min以上 （ハース真上250Hにて） |
|
| 冷却水量 | ハース | 8L/min以上 0.7MPa（最大圧力） |
| コイル | 1L/min以上 0.7MPa（最大圧力） | |
| 水温 | 15～25℃ | |
| 外形寸法 | 110W×126H×207D | |
| 質量 | 約4kg | |
| 適用電源 | HPS-510S、HPS-1000N、HPS-1600F | |
| 備考 | 冷却水は比抵抗5kΩ・cm以上の水質を推奨します。 | |
| Y軸偏向コイル | 0～±1.2A ±12VDVmax | |
| （オプション） | 1.8Ω（20℃） | |
EBガンのフィラメントが交換後にすぐ断線してしまう。
フィラメントとビームフォーマーが接触していませんか？
