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金属膜用EBガン
EGKシリーズ
EGK-3M
アルバック
電子ビーム式蒸発源EGK-3Mは、ULVACの多年にわたる技術の蓄積と実績をもとに、性能と信頼性の向上を図ったものです。
この蒸発源は最大投入電力5kWの4点切換式ハースをもっています。
るつぼ容量が2.9ccのるつぼを4点もっており、任意な多層膜蒸着が可能です。
この蒸発源は最大投入電力5kWの4点切換式ハースをもっています。
るつぼ容量が2.9ccのるつぼを4点もっており、任意な多層膜蒸着が可能です。
特長
- るつぼ容量2.9ccの4点切換式ハースの採用により、任意な多層膜蒸着が可能です。
- 電子ビームは225°偏向するため、蒸発材料からの上記に曝されることがなく、フィラメントは長寿命です。
- 電子ビームは、電磁場によって偏向するため、被蒸着体に与える二次電子の影響が少ないです。
- 昇華性の物質でも、ビームスポットをX軸・Y軸方向に走査させることにより、部分的な穴掘現象をなくし、円滑に蒸発させることができます。
- エミッタアッセンブリの脱着が容易なため、フィラメント・絶縁碍子などの消耗部品の交換が簡単です。
仕様
| 加速電圧 | -4kV～-10kV | |
| ビーム電流 | 0.5A MAX | |
| 最大投入電力 | 5kW（-10kV／0.5A） | |
| X軸マグネットコイル | -0.4A～-3.5A／-18V DC MAX 約2.2Ω（20℃） |
|
| フィラメント | 0～12V AC | |
| 0～40A max | ||
| るつぼ | 数 | 4 |
| 容量 | 2.9cc | |
| 寸法 | 21Φ×17.5Φ×10H | |
| 電子ビーム偏向角 | 225° | |
| 有効蒸発角度 | 90°以上 | |
| 蒸着速度 | 0.6μm/min以上 アルミ5kW、ハース直上250Hにて |
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| 冷却水量 | ハース | 8L/min以上 0.7MPa（最大圧力） |
| コイル | 1L/min以上 0.7MPa（最大圧力） | |
| 水温 | 15～25℃ | |
| 外形寸法 | 140W×126H×207D | |
| 質量 | 約5kg | |
| 適用電源 | HPS-510S・HPS-1000N | |
| 備考 | 冷却水は比抵抗5kΩ・cm以上の水質を推奨します。 | |
| Y軸マグネットコイル（オプション） | 0～±1.2A／±12VDVmax 約1.7Ω（20℃） |
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| 備考 | 冷却水は比抵抗5kΩ・cm以上の水質を推奨します。 ワイヤーフィーダー取付可能 |
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EBガンのフィラメントが交換後にすぐ断線してしまう。
フィラメントとビームフォーマーが接触していませんか？
