EGL-103S

アルバック

EGL-103S型電子ビーム式蒸発源は、ULVACの多年にわたる技術の蓄積と実績をもとに、性能と信頼性の向上を計ったものです。
この蒸発源は最大投入電力6kWの直動型3点切換式ハースをもっています。
るつぼ容量は10cc×3個となっており、超高真空での実験用、小規模生産用に適しています。

特長

直動型の容量10ccの3点切換式ハースの採用により、超高真空における小規模生産に適しています。
電子ビームは電磁場によって偏向するため、非蒸着体に与える二次電子の影響が極めて少ない昇華性の物質でもビームスポットをX軸、Y軸方向にスキャンニングさせることにより部分的な穴堀現象をなくし、るつぼ全体を円滑に蒸発させることができます。（日本国特許831485.843447号所有）
電子ビームは270°偏向するため、蒸発材料からの上記にさらされることがなく、フィラメントは長寿命です。
エミッターアッセンブリーの脱着が容易なため、フィラメント、絶縁碍子などの交換が簡単です。

加速電圧		-4kV～-10kV
ビーム電流		0.6Amax (at-10kV)
最大入力		6kW (-10kV, 0.6A)
X軸偏向コイル		0.4～3.5A -18VDCmax 2.8Ω（20℃）
Y軸偏向コイル		0～±1.2A ±12VDCmax 0.9Ω（20℃）
フィラメント		0～6VAC 50Amax
るつぼ	容量	10cc
	寸法	35Φ×31Φ×11H
ビーム偏向角		270°
有効蒸発角		90°以上
冷却水量	ハース	10L/min 7kg/cm²G（最大圧力）
	ハースデッキ	2L/min 7kg/cm²G（最大圧力）
水温		15℃～25℃
外形寸法		313W (MAX)×108H×250D
重量		約16kg
適用電源		HPS-1000N, HPS-1600F
備考		冷却水は比抵抗5kΩ・cm以上の水質を推奨します。最大スポットサイト30×30mm ベーク温度は120℃max、ただし、ハース、ハースデッキに水を流しておくこと

EBガン・EB電源　オプション

高電圧導入端子　BERH311A 電流導入端子　PTS-004 アース端子　ERZ-003 大気圧確認器　DTA-002 水冷導入端子　DK5203-045

特長

直動型の容量10ccの3点切換式ハースの採用により、超高真空における小規模生産に適しています。

電子ビームは電磁場によって偏向するため、非蒸着体に与える二次電子の影響が極めて少ない昇華性の物質でもビームスポットをX軸、Y軸方向にスキャンニングさせることにより部分的な穴堀現象をなくし、るつぼ全体を円滑に蒸発させることができます。（日本国特許831485.843447号所有）

電子ビームは270°偏向するため、蒸発材料からの上記にさらされることがなく、フィラメントは長寿命です。

エミッターアッセンブリーの脱着が容易なため、フィラメント、絶縁碍子などの交換が簡単です。

仕様

加速電圧		-4kV～-10kV
ビーム電流		0.6Amax (at-10kV)
最大入力		6kW (-10kV, 0.6A)
X軸偏向コイル		0.4～3.5A -18VDCmax 2.8Ω（20℃）
Y軸偏向コイル		0～±1.2A ±12VDCmax 0.9Ω（20℃）
フィラメント		0～6VAC 50Amax
るつぼ	容量	10cc
	寸法	35Φ×31Φ×11H
ビーム偏向角		270°
有効蒸発角		90°以上
冷却水量	ハース	10L/min 7kg/cm²G（最大圧力）
	ハースデッキ	2L/min 7kg/cm²G（最大圧力）
水温		15℃～25℃
外形寸法		313W (MAX)×108H×250D
重量		約16kg
適用電源		HPS-1000N, HPS-1600F
備考		冷却水は比抵抗5kΩ・cm以上の水質を推奨します。最大スポットサイト30×30mm ベーク温度は120℃max、ただし、ハース、ハースデッキに水を流しておくこと