EGL-103S|EGLシリーズ|金属膜用EBガン|EBガン・EB電源|製品情報|ULVAC SHOWCASE

金属膜用EBガン

EGLシリーズ

EGL-103S

アルバック

EGL-103S型電子ビーム式蒸発源は、ULVACの多年にわたる技術の蓄積と実績をもとに、性能と信頼性の向上を計ったものです。
この蒸発源は最大投入電力6kWの直動型3点切換式ハースをもっています。
るつぼ容量は10cc×3個となっており、超高真空での実験用、小規模生産用に適しています。

特長

  • 直動型の容量10ccの3点切換式ハースの採用により、超高真空における小規模生産に適しています。
  • 電子ビームは電磁場によって偏向するため、非蒸着体に与える二次電子の影響が極めて少ない昇華性の物質でもビームスポットをX軸、Y軸方向にスキャンニングさせることにより部分的な穴堀現象をなくし、るつぼ全体を円滑に蒸発させることができます。(日本国特許831485.843447号所有)
  • 電子ビームは270°偏向するため、蒸発材料からの上記にさらされることがなく、フィラメントは長寿命です。
  • エミッターアッセンブリーの脱着が容易なため、フィラメント、絶縁碍子などの交換が簡単です。

仕様

加速電圧 -4kV~-10kV
ビーム電流 0.6Amax (at-10kV)
最大入力 6kW (-10kV, 0.6A)
X軸偏向コイル 0.4~3.5A -18VDCmax
2.8Ω(20℃)
Y軸偏向コイル 0~±1.2A ±12VDCmax
0.9Ω(20℃)
フィラメント 0~6VAC 50Amax
るつぼ 容量 10cc
寸法 35Φ×31Φ×11H
ビーム偏向角 270°
有効蒸発角 90°以上
冷却水量 ハース 10L/min 7kg/cm2G(最大圧力)
ハースデッキ 2L/min 7kg/cm2G(最大圧力)
水温 15℃~25℃
外形寸法 313W (MAX)×108H×250D
重量 約16kg
適用電源 HPS-1000N, HPS-1600F
備考 冷却水は比抵抗5kΩ・cm以上の水質を推奨します。
最大スポットサイト30×30mm
ベーク温度は120℃max、ただし、ハース、ハースデッキに水を流しておくこと
EBガンのフィラメントが交換後にすぐ断線してしまう。

フィラメントとビームフォーマーが接触していませんか?

該非判定結果報告書
ダウンロード

SDSダウンロード

取扱説明書・仕様書
ダウンロード

アプリケーション
ダウンロード

図面ダウンロード

技術資料ダウンロード

このサイトでは、お客様の利便性や利用状況の把握などのためにCookieを使用してアクセスデータを取得・利用しています。Cookieの使用に同意する場合は、
「同意しました」をクリックしてください。「個人情報保護方針」「Cookie Policy」をご確認ください。

同意しました