EGL-110

アルバック

EGL-110型電子ビーム式蒸発源は、ULVACの多年にわたる技術の蓄積と実績をもとに、性能と信頼性の向上を計ったものです。
この蒸発源は最大投入電力16kWのハースをもっています。
るつぼ容量は110ccの大容量となっており、厚膜の高速蒸着が可能です。

特長

大容量110ccハースの採用により、大量蒸着が可能です。
電子ビームは電磁場によって偏向するため、被蒸着体に与える二次電子の影響が極めて少ない。
昇華性の物質でもビームスポットをX軸、Y軸方向にスキャンニングさせることにより部分的な穴掘現象をなくし、円滑に蒸発させることができます。（日本国特許831485、843447号所有）
電子ビーム270°偏向のため、蒸発材料からの蒸気にさらされることがなく、フィラメントは長寿命です。
エミッターアッセンブリーの脱着が容易なため、フィラメント、絶縁碍子などの交換が可能です。

加速電圧		-4kV～-10kV
ビーム電流		1.6Amax (at-10kV)
最大入力		16kW (-10kV, 1.6A)
X軸偏向コイル		0.4～3.5A -18VDCmax 2.8Ω（20℃）
Y軸偏向コイル		0～±1.2A ±12VDCmax 0.9Ω（20℃）2個
フィラメント		0～6VAC 40Amax
るつぼ	容量	110cc
	寸法	75Φ×59Φ×32H
ビーム偏向角		270°
有効蒸発角		120°以上
蒸着速度	アルミ16kW時	4.5μm/min以上（ハース真上250Hにて）
冷却水量		19L/min以上、0.7MPa（最大圧力）
水温		15℃～25℃
外形寸法		136W×90H×220D
重量		約15kg
適用電源		HPS-1000N, HPS-1600F
備考		1. ワイヤーフィーダー取付可能。 2. 冷却水は比抵抗5kΩ・cm以上の水質を推奨します。

EBガン・EB電源　オプション

高電圧導入端子　BERH311A 電流導入端子　PTS-004 アース端子　ERZ-003 大気圧確認器　DTA-002 水冷導入端子　DK5203-045

特長

大容量110ccハースの採用により、大量蒸着が可能です。

電子ビームは電磁場によって偏向するため、被蒸着体に与える二次電子の影響が極めて少ない。

昇華性の物質でもビームスポットをX軸、Y軸方向にスキャンニングさせることにより部分的な穴掘現象をなくし、円滑に蒸発させることができます。（日本国特許831485、843447号所有）

電子ビーム270°偏向のため、蒸発材料からの蒸気にさらされることがなく、フィラメントは長寿命です。

エミッターアッセンブリーの脱着が容易なため、フィラメント、絶縁碍子などの交換が可能です。

仕様

加速電圧		-4kV～-10kV
ビーム電流		1.6Amax (at-10kV)
最大入力		16kW (-10kV, 1.6A)
X軸偏向コイル		0.4～3.5A -18VDCmax 2.8Ω（20℃）
Y軸偏向コイル		0～±1.2A ±12VDCmax 0.9Ω（20℃）2個
フィラメント		0～6VAC 40Amax
るつぼ	容量	110cc
	寸法	75Φ×59Φ×32H
ビーム偏向角		270°
有効蒸発角		120°以上
蒸着速度	アルミ16kW時	4.5μm/min以上（ハース真上250Hにて）
冷却水量		19L/min以上、0.7MPa（最大圧力）
水温		15℃～25℃
外形寸法		136W×90H×220D
重量		約15kg
適用電源		HPS-1000N, HPS-1600F
備考		1. ワイヤーフィーダー取付可能。 2. 冷却水は比抵抗5kΩ・cm以上の水質を推奨します。