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金属膜用EBガン
EGLシリーズ
EGL-35M
アルバック
電子ビーム式蒸発源EGL-35Mは、ULVACの多年にわたる技術の蓄積と実績をもとに、性能と信頼性の向上を計ったものです。 EGL-35Mは容量が40ccのるつぼ（最大投入電力10kW）を2点、10ccのるつぼ（最大投入電力6kW）を2点もっており（標準仕様の場合）、任意な多層膜蒸着が可能です。
特長
- 容量40ccと10ccの4点切換式ハースの採用により、多層膜の蒸着が可能です。
- 電子ビームは電磁場によって偏向するため、被蒸着体に与える二次電子の影響が極めて少なくなっています。
- 昇華性の物質でもビームスポットをX軸、Y軸にスキャンニングさせることにより穴掘り現象をなくし、円滑に蒸発させることができます。
- 電子ビームは270°偏向のため、蒸発材料からの蒸気にさらされることがなく、フィラメントは長寿命です。
- エミッターアッセンブリーの脱着が容易なため、フィラメント、絶縁碍子などの交換が簡単です。
- ハース位置検出機構がオプションとして取り付けられるため、ハース回転の自動化が行えます。
仕様
| 加速電圧 | -4kV～-10kV DC | |
| エミッション電流（MAX） | 1.0A MAX (at-10kV) | |
| 最大投入電力 | 10kW (at 40ccるつぼ)、6kW (at 10ccるつぼ) | |
| X軸偏向コイル | -0.4A～-3.5A MAX -18V DC 約2.6Ω（at 20℃） |
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| Y軸偏向コイル | 0A～±1.2A MAX ±12V DC 約5.8Ω（at 20℃） |
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| フィラメント | 0V～12V AC MAX 40A | |
| るつぼ | 数 | 4 |
| 容量 | 40cc ×2、10cc×2 （標準仕様の場合） | |
| 寸法 | 50Φ×41Φ×25H、32Φ×24Φ×15H | |
| ビーム偏向角 | 270° | |
| 有効蒸発角 | 90°以上 | |
| 蒸着速度 | 1.6μm/min以上（A| 8kW、ハーフ直上250H） | |
| 冷却水量 | ハース | 10L/min or more 0.7Mpa (max) |
| コイル | 2L/min or more 0.7Mpa (max) | |
| 水温 | 15℃～25℃ | |
| ハース位置掲出機構 | 接点数：NO 接点 4式 | |
| （オプション） | 容量：MAX 1A、50V DC | |
| 外形寸法 | 170W×240D×156H 突起部除く | |
| 重量 | 約18kg | |
| 適用電源 | HPS-510S, HPS-1000N, HPS-1600F | |
