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金属膜用EBガン

EGLシリーズ

EGL-35M

アルバック

電子ビーム式蒸発源EGL-35Mは、ULVACの多年にわたる技術の蓄積と実績をもとに、性能と信頼性の向上を計ったものです。 EGL-35Mは容量が40ccのるつぼ(最大投入電力10kW)を2点、10ccのるつぼ(最大投入電力6kW)を2点もっており(標準仕様の場合)、任意な多層膜蒸着が可能です。

特長

  • 容量40ccと10ccの4点切換式ハースの採用により、多層膜の蒸着が可能です。
  • 電子ビームは電磁場によって偏向するため、被蒸着体に与える二次電子の影響が極めて少なくなっています。
  • 昇華性の物質でもビームスポットをX軸、Y軸にスキャンニングさせることにより穴掘り現象をなくし、円滑に蒸発させることができます。
  • 電子ビームは270°偏向のため、蒸発材料からの蒸気にさらされることがなく、フィラメントは長寿命です。
  • エミッターアッセンブリーの脱着が容易なため、フィラメント、絶縁碍子などの交換が簡単です。
  • ハース位置検出機構がオプションとして取り付けられるため、ハース回転の自動化が行えます。

仕様

加速電圧 -4kV~-10kV DC
エミッション電流(MAX) 1.0A MAX (at-10kV)
最大投入電力 10kW (at 40ccるつぼ)、6kW (at 10ccるつぼ)
X軸偏向コイル -0.4A~-3.5A MAX -18V DC
約2.6Ω(at 20℃)
Y軸偏向コイル 0A~±1.2A MAX ±12V DC
約5.8Ω(at 20℃)
フィラメント 0V~12V AC MAX 40A
るつぼ 4
容量 40cc ×2、10cc×2 (標準仕様の場合)
寸法 50Φ×41Φ×25H、32Φ×24Φ×15H
ビーム偏向角 270°
有効蒸発角 90°以上
蒸着速度 1.6μm/min以上(A| 8kW、ハーフ直上250H)
冷却水量 ハース 10L/min or more 0.7Mpa (max)
コイル 2L/min or more 0.7Mpa (max)
水温 15℃~25℃
ハース位置掲出機構 接点数:NO 接点 4式
(オプション) 容量:MAX 1A、50V DC
外形寸法 170W×240D×156H 突起部除く
重量 約18kg
適用電源 HPS-510S, HPS-1000N, HPS-1600F
EBガンのフィラメントが交換後にすぐ断線してしまう。

フィラメントとビームフォーマーが接触していませんか?

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