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金属膜用EBガン
EGLシリーズ
EGL-80M
アルバック
EGL-80M型電子ビーム式蒸発源は、ULVACの多年にわたる技術の蓄積と実績をもとに、性能と信頼性の向上を計ったものです。
この蒸発源は最大投入電力16kWの4点切替式ハースをもっています。
るつぼ容量は1ケ当り110ccの大容量となっているため、厚膜の高速蒸着が可能です。
この蒸発源は最大投入電力16kWの4点切替式ハースをもっています。
るつぼ容量は1ケ当り110ccの大容量となっているため、厚膜の高速蒸着が可能です。
特長
- 大容量110ccの4点切換式ハースの採用により、多膜層の大量蒸着が可能です。
- 電子ビームは電磁場によって偏向するため、被蒸着体に与える二次電子の影響が極めて少なくなっています。
- 浄化性の物質でもビームスポットをX軸、Y軸にスキャンニングさせることにより、穴掘り現象をなくし、円滑に蒸発させることができます。（日本国831485、843447号所有）
- 電子ビームは270°偏向のため、蒸発材料からの蒸気にさらされることがなく、フィラメントは長寿命です。
- フィラメントホルダーの脱着が容易なため、フィラメント、絶縁碍子などの交換が簡単です。
- 水冷式マグネットコイルの採用により、高温雰囲気中で連続運転が可能です。
- ハース位置検出機構がオプションとして取付けられるため、ハース回転の自動化が行えます。
仕様
| 加速電圧 | -4kV～-10kV DC | |
| エミッション電流（MAX） | 1.6A（加速電圧-10kV時） | |
| 最大投入電力 | 16kW（-10kV、1.0A） | |
| X軸偏向コイル | 2.5～16A MAX-12V DC 0.54Ω（室温20℃内にて） |
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| Y軸偏向コイル | 0～±2A MAX±12V DC 1.2Ω×2（室温20℃内にて） |
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| フィラメント | 0～6V AC MAX 50A | |
| るつぼ | 容積（数） | 110cc (4ケ) |
| 寸法 | 75Φ×57Φ×32H | |
| ビーム偏向角 | 270° | |
| 有効蒸発角 | 100°以上 | |
| 蒸着速度 | 4μm/min以上 （A| 16kW, ハース真上250H） |
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| 冷却水量 | ハース：20L/min以上 （MAX 7kg/cm2） コイル：4L/min以上 （MAX 7kg/cm2） |
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| 水温 | 15～25℃ | |
| ハース位置検出機構 （オプション） |
接点数：NO接点 4式 容量：50mA～1A MAX 50V AC |
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| 外形寸法 | 318L×265W×168H | |
| 質量 | 30kg | |
| 適用電源 | HPS-1600F（ハイパワー仕様） | |
EBガンのフィラメントが交換後にすぐ断線してしまう。
フィラメントとビームフォーマーが接触していませんか？
