EGL-80M

アルバック

EGL-80M型電子ビーム式蒸発源は、ULVACの多年にわたる技術の蓄積と実績をもとに、性能と信頼性の向上を計ったものです。
この蒸発源は最大投入電力16kWの4点切替式ハースをもっています。
るつぼ容量は1ケ当り110ccの大容量となっているため、厚膜の高速蒸着が可能です。

特長

大容量110ccの4点切換式ハースの採用により、多膜層の大量蒸着が可能です。
電子ビームは電磁場によって偏向するため、被蒸着体に与える二次電子の影響が極めて少なくなっています。
浄化性の物質でもビームスポットをX軸、Y軸にスキャンニングさせることにより、穴掘り現象をなくし、円滑に蒸発させることができます。（日本国831485、843447号所有）
電子ビームは270°偏向のため、蒸発材料からの蒸気にさらされることがなく、フィラメントは長寿命です。
フィラメントホルダーの脱着が容易なため、フィラメント、絶縁碍子などの交換が簡単です。
水冷式マグネットコイルの採用により、高温雰囲気中で連続運転が可能です。
ハース位置検出機構がオプションとして取付けられるため、ハース回転の自動化が行えます。

加速電圧		-4kV～-10kV DC
エミッション電流（MAX）		1.6A（加速電圧-10kV時）
最大投入電力		16kW（-10kV、1.0A）
X軸偏向コイル		2.5～16A MAX-12V DC 0.54Ω（室温20℃内にて）
Y軸偏向コイル		0～±2A MAX±12V DC 1.2Ω×2（室温20℃内にて）
フィラメント		0～6V AC MAX 50A
るつぼ	容積（数）	110cc (4ケ)
	寸法	75Φ×57Φ×32H
ビーム偏向角		270°
有効蒸発角		100°以上
蒸着速度		4μm/min以上（A\| 16kW, ハース真上250H）
冷却水量		ハース：20L/min以上（MAX 7kg/cm²）コイル：4L/min以上（MAX 7kg/cm²）
水温		15～25℃
ハース位置検出機構（オプション）		接点数：NO接点　4式容量：50mA～1A MAX 50V AC
外形寸法		318L×265W×168H
質量		30kg
適用電源		HPS-1600F（ハイパワー仕様）

EBガン・EB電源　オプション

高電圧導入端子　BERH311A 電流導入端子　PTS-004 アース端子　ERZ-003 大気圧確認器　DTA-002 水冷導入端子　DK5203-045

特長

大容量110ccの4点切換式ハースの採用により、多膜層の大量蒸着が可能です。

電子ビームは電磁場によって偏向するため、被蒸着体に与える二次電子の影響が極めて少なくなっています。

浄化性の物質でもビームスポットをX軸、Y軸にスキャンニングさせることにより、穴掘り現象をなくし、円滑に蒸発させることができます。（日本国831485、843447号所有）

電子ビームは270°偏向のため、蒸発材料からの蒸気にさらされることがなく、フィラメントは長寿命です。

フィラメントホルダーの脱着が容易なため、フィラメント、絶縁碍子などの交換が簡単です。

水冷式マグネットコイルの採用により、高温雰囲気中で連続運転が可能です。

ハース位置検出機構がオプションとして取付けられるため、ハース回転の自動化が行えます。

仕様

加速電圧		-4kV～-10kV DC
エミッション電流（MAX）		1.6A（加速電圧-10kV時）
最大投入電力		16kW（-10kV、1.0A）
X軸偏向コイル		2.5～16A MAX-12V DC 0.54Ω（室温20℃内にて）
Y軸偏向コイル		0～±2A MAX±12V DC 1.2Ω×2（室温20℃内にて）
フィラメント		0～6V AC MAX 50A
るつぼ	容積（数）	110cc (4ケ)
	寸法	75Φ×57Φ×32H
ビーム偏向角		270°
有効蒸発角		100°以上
蒸着速度		4μm/min以上（A\| 16kW, ハース真上250H）
冷却水量		ハース：20L/min以上（MAX 7kg/cm²）コイル：4L/min以上（MAX 7kg/cm²）
水温		15～25℃
ハース位置検出機構（オプション）		接点数：NO接点　4式容量：50mA～1A MAX 50V AC
外形寸法		318L×265W×168H
質量		30kg
適用電源		HPS-1600F（ハイパワー仕様）