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金属膜用EBガン
EGNシリーズ
EGN-406M
アルバック
EGNシリーズは、新たにメンテナンス性の向上に主軸を置いて開発した金属蒸着用電子ビーム蒸発源です。
フラットトップ構造の採用により、電子ビーム蒸発源への着膜面積が少なくなり、高いメンテナンス性を実現しております。
フラットトップ構造の採用により、電子ビーム蒸発源への着膜面積が少なくなり、高いメンテナンス性を実現しております。
特長
- フラットトップ構造の採用により、電子ビーム蒸発源への着膜面積が少なく、清掃が容易
- 新エミッタ構造の採用により、 部品点数を従来比60%に削減し、組み立てが容易
- 金属蒸着に最適なリボンビームと、酸化物/化合物に最適なスポットビームの選択が可能
- 装置メーカーとして蓄積したノウハウを設計にフィードバック
用途
- 電子ビーム蒸着用蒸発源
仕様
| 型式 | EGN-206M | EGN-406M |
| 電子ビーム偏向角度 | 270° | 270° |
| ルツボ数 | 6 | 6 |
| ルツボ容量 | 20cc | 40cc |
| 冷却水量 | 10L/min | 10L/min |
| 外形寸法 W×D×H | 267mm×343mm×150mm | 267mm×343mm×150mm |
| 重量 | 28kg | 28kg |
