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光学膜用EBガン

EGOシリーズ

EGO-40M

アルバック

アルバックの多年にわたる技術の畜積をもとに設計された信頼性の高いEBガンです。

特長

高性能偏向コイルにより、優れたスイープ性能を実現、安定した均一性の高い蒸着プロセスを実現します。

用途

電子ビーム蒸着用蒸発源

仕様

型式		EGO-1G	EGO-40M	EGO-206M	EGO-406M
ビーム偏向角		270°
るつぼ数		0	4	6	6
るつぼ容量		-	10cc ×2 / 40cc ×2	20cc	40cc
冷却水量	るつぼ	-	10L/min	10L/min	10L/min
冷却水量	コイル	2L/min	-	-	-
外形寸法　W×D×H		168×285×174mm	170×309×174mm	200×339×176mm	200×339×176mm
質量		10kg	18kg	18kg	18kg
適用電源		HPS-1000N-G100/G200

該非判定結果報告書
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オプションパーツ・消耗品

EBガン・EB電源　オプション

高電圧導入端子　BERH311A 電流導入端子　PTS-004 アース端子　ERZ-003 大気圧確認器　DTA-002 水冷導入端子　DK5203-045

取扱説明書・仕様書
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アプリケーション
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光学膜用EBガン

EGOシリーズ

EGO-40M

アルバックの多年にわたる技術の畜積をもとに設計された信頼性の高いEBガンです。

特長

高性能偏向コイルにより、優れたスイープ性能を実現、安定した均一性の高い蒸着プロセスを実現します。

用途

電子ビーム蒸着用蒸発源

仕様

型式		EGO-1G	EGO-40M	EGO-206M	EGO-406M
ビーム偏向角		270°
るつぼ数		0	4	6	6
るつぼ容量		-	10cc ×2 / 40cc ×2	20cc	40cc
冷却水量	るつぼ	-	10L/min	10L/min	10L/min
冷却水量	コイル	2L/min	-	-	-
外形寸法　W×D×H		168×285×174mm	170×309×174mm	200×339×176mm	200×339×176mm
質量		10kg	18kg	18kg	18kg
適用電源		HPS-1000N-G100/G200