電子銃用電源
電子銃用電源の導入・購入・検討について
電子銃用電源は、電子ビーム蒸着プロセスを支える重要なシステムで、以下の2つの主要な構成要素で構成されています：
・電子銃コントローラ
ビームの精密な制御を行い、蒸着材料への加熱を均一化することで、高品質な薄膜形成をサポートします。
・EB電源
電子ビームの発生に必要なエネルギーを安定的に供給し、装置の安定した動作を実現します。
電子銃用電源は、EB蒸着プロセスの中心的な機能を担い、以下のような役割を果たします。
・電子ビームの生成と制御
電子ビームの強度、位置、スキャンパターンを精密に制御し、蒸着材料を均一に加熱します。これにより、安定した材料の蒸発と薄膜形成を実現します。
・高電圧供給と安定化
電子銃に必要な高電圧（通常10kV程度）を安定して供給し、電子ビームの生成をサポートします。電力の変動を抑えることで、プロセス全体の安定性を確保します。
・操作の簡略化
ユーザーフレンドリーなインターフェースを採用し、プロセス条件の設定や調整を容易に行えるよう設計されています。
・アーク放電への迅速な対応
蒸着プロセス中に発生するアークを迅速に検知し、電力を適切に調整または遮断することで装置とプロセスの安全性を向上します。
アルバックの電子銃用電源を使用することで、EB蒸着プロセスの信頼性、再現性、生産性を大幅に向上させることが可能です。
電子銃用電源_HPSシリーズ
電子銃用電源であるHPSシリーズは、アルバックの多年にわたる技術の蓄積と実績をもとに、回路の安定化と性能 の向上を図ったもので、アルバック製電子銃（電子ビームガン）に対応した電源です。EBガンコントローラと組み合わせてご使用頂くことにより、光学薄膜用EBガン及び、金属薄膜用EBガンの両方に 対応することが可能となっています。
電子銃用電源_HPSシリーズ
HPSシリーズ
アルバックの多年にわたる技術の蓄積と実績をもとに、回路の安定化と性能の向上を図ったエレクトロンビーム蒸発源対応の電源です。
EBガンコントローラEGC-10GSと組み合わせてご使用いただくことにより、光学薄膜用EBガンおよび、金属薄膜用EBガンの両方に対応することができます。