ULVAC
ULVAC SHOWCASE
赤外線ゴールドイメージ炉
赤外線ランプ加熱でお客様のニーズにお応えします。赤外線ゴールドイメージ炉は研究開発や生産装置としてさまざまな分野でご利用頂いております。高速加熱からワイドエリアの加熱までお客様のニーズにお応えします。
カーボンナノチューブの生成装置や生産装置まで幅広い分野でご利用可能。平板面状放射型赤外線加熱炉はΦ2in~Φ300mmまでのウエハ用アニールシステムや生産用焼成炉などにご利用頂けます。
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