赤外線ゴールドイメージ炉/RTA装置
赤外線ゴールドイメージ炉
RHL-E/VHT/P シリーズ
アルバック販売
赤外線ゴールドイメージ炉は研究開発や生産装置としてさまざまな分野でご利用頂いております。
高速加熱からワイドエリアの加熱までお客様のニーズにお応えします。
特長
- E型:楕円反射面を有し高温まで高速加熱することが可能
- VHT型:ハロゲンランプ加熱方式で最高1800℃までの加熱が可能
- P型:放物反射面を有し平行赤外光により広い面積を均一に加熱することが可能
用途
- 太陽電池、CIGS、CZTS 用アニール
- SiC パワーデバイスのアニール
- 金属材料の焼入、焼なまし
- セラミックス材料の熱衝撃試験
- ろう付用熱処理
- 触媒用加熱炉(ガス分析)
仕様
左から
- E型
- VHT型
- P型
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型式*1 | 加熱形態 | 最大加熱温度*2 | 加熱長(発光長) | ランプ電圧 | 電力 |
---|---|---|---|---|---|
E110L | 集光片面加熱 | ー | 265mm | 200V | 2.0kW |
E25N | 集光管状加熱 | 1100℃ | 140mm | 100V | 2.0kW |
E25P | 1300℃ | 200V | 2.4kW | ||
E45N | 1100℃ | 100V | 4.0kW | ||
E45P | 1400℃ | 200V | 4.8kW | ||
E410N | 1100℃ | 265mm | 200V | 4.0kW | |
E410P | 1400℃ | 8.0kW | |||
VHT-E44 | 1700℃ | 100mm | 200V | 8.0kW | |
VHT-E64 | 12.0kW | ||||
VHT-E48 | 1800℃ | 225mm | 480V | 24.0kW | |
VHT-E68 | 36.0kW | ||||
P44CP | 平行光管状加熱 | 1200℃ | 100mm | 100V | 4.0kW |
P48CP | 200mm | 200V | 6.4kW | ||
P410CP | 265mm | 8.0kW | |||
P65CN | 900℃ | 140mm | 100V | 6.0kW | |
P65CP | 1200℃ | 200V | 7.2kW | ||
P610CN | 900℃ | 265mm | 6.0kW | ||
P610CP | 1200℃ | 12.0kW | |||
P810CN | 900℃ | 8.0kW | |||
P810CP | 1100℃ | 16.0kW |
*1 型式番号の意味Eタイプ、Pタイプ
- E45Pの場合: E:反射面型式、4:ランプ本数、5:ランプの長さ(インチ)、P:ランプの種類
- P610CPの場合: P:反射面型式、6:ランプ本数、10:ランプの長さ(インチ)、C:加熱形態、P:ランプの種類
- 反射面型式: Eは楕円面反射、Pは放物面反射
- ランプ種類: NはNランプ、PはPランプ
*2 最大加熱温度は、加熱物の赤外線反射・吸収、熱容量と材質により異なります。
●加熱炉には、冷却水が必要です。予めご了承ください。
●上記以外にも、豊富に取り揃えておりますので、お気軽にお問い合わせください。
原理
赤外線ランプのエネルギー分光分布
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1. ラディエーション加熱
赤外線ゴールドイメージ炉は高エネルギー密度の赤外線ランプを熱源とした、ラディエーション(ふく射)加熱炉です。ゴールドをコーティングした水冷アルミニウム反射面に赤外線を反射させることにより、高熱ゾーンを短時間に高精度に実現できます。
2. 赤外線ランプ
発熱体の赤外線ランプは石英ガラス管にタングステンフィラメントを封じ込んだ棒状ランプです。放射波長はほぼ1.15ミクロンにピークを持つ近赤外線スペクトルです。一般の抵抗炉に比べて、10~15倍エネルギー密度と高い発光温度を有しています。
3. 反射面
精密な曲率加工を施した水冷アルミニウム反射面に、ゴールドをコーティングすることにより反射効率の向上と反射面の劣化の防止を図っています。赤外線ゴールドイメージ炉は反射面の形状から楕円面反射形と放物面反射形の二種類に分けられます。
4. 楕円面反射形 RHL-Eシリーズ
楕円面の焦点に赤外線ランプを配置し、一方の焦点にエネルギーを集光。ランプユニットを管状に組合せることにより、棒状試料の加熱が可能です。
5. 放物面反射形 RHL-Pシリーズ
赤外線エネルギーを並行に反射します。ランプユニットを並列に連ねることにより広い面の均一加熱が可能。また管状に組合せることにより、円筒状の均熱ゾーンを形成できます。
6. 超高熱ゴールドイメージ炉 VHTシリーズ
VHTシリーズは瞬間的により超高温を得るために開発された楕円面反射形の赤外線ゴールドイメージ炉です。超高密度エネルギーの赤外線ランプにより、RHLシリーズに比べ、約2倍の放射エネルギーを実現、パルス状加熱に最も適しています。
E型
最大加熱速度試験
- 使用炉:E410P
- サンプル:W10×L50×T1(mm)
- 雰囲気:大気中
- 材質:SUS板
VHT型
超高温炉による最大加熱速度試験
- 使用炉:VHT-E68
- サンプル:Φ12×L30(mm)
- 雰囲気:N2フロー中
- 材質:カーボン
P型
最大加熱速度試験
使用炉:P610CP
サンプル:W20×L50×T0.8(mm)
雰囲気:大気中
材質:SUS板
温度分布試験
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使用炉:P610CN
サンプル:W50×L100×T4(mm)
雰囲気:N2フロー中
材質:カーボン
多段ステップ加熱試験
使用炉:P610CN
サンプル:W50×L80×T0.5(mm)
雰囲気:N2ガス中
材質:SUS板
ガス種による冷却速度
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使用炉:P610CP
サンプル:W50×L80×T0.5(mm)
材質:SUS板
流量:10?/分