赤外線ゴールドイメージ炉/RTA装置
赤外線ランプアニール装置
赤外線ランプアニール装置
RTAシリーズ
保持まで10秒！赤外線ランプ加熱で2インチから300mmまでの高速熱処理
赤外線ランプ加熱は、高エネルギー密度、近赤外線、高熱応答性、温度制御性、コールドウォールによるクリーン加熱などの特長を最大限に活かした加熱方式です。各種プロセスレシピ（加熱・冷却）、ガスの種類及び流量制御とともに最適なプロセス条件を見出すのに適したRTAシリーズで、お客様のニーズにお応えします。