ナノ粒子形成装置
アークプラズマ蒸着源
アークプラズマ蒸着源
APS-1
異なる「ターゲット」を同時に蒸着。
本蒸着源を既存のアークプラズマ法ナノ粒子形成装置APD シリーズやお手持ちの真空チャンバに増設することで、異なる「ターゲット」を同時に蒸着でき、新たな特性を持つ材料の生成が可能となります。
アークプラズマ法ナノ粒子形成装置
アークプラズマ法ナノ粒子形成装置
APDシリーズ
パルス真空アーク放電を利用した新しいナノ粒子形成装置。
パルス真空アーク蒸着は、シンプルなプロセスで金属イオンを生成し、極薄膜やナノ粒子を形成する唯一の手法です。
膜の平坦性、微粒子の形成など、他の蒸着法では得られない効果を得ることができます。