ナノ粒子形成装置
アークプラズマ蒸着源
アークプラズマ蒸着源
APS-1
異なる「ターゲット」を同時に蒸着。
本蒸着源を既存のアークプラズマ法ナノ粒子形成装置APD シリーズやお手持ちの真空チャンバに増設することで、異なる「ターゲット」を同時に蒸着でき、新たな特性を持つ材料の生成が可能となります。