ナノ粒子形成装置
アークプラズマ法ナノ粒子形成装置
アークプラズマ法ナノ粒子形成装置
APDシリーズ
パルス真空アーク放電を利用した新しいナノ粒子形成装置。
パルス真空アーク蒸着は、シンプルなプロセスで金属イオンを生成し、極薄膜やナノ粒子を形成する唯一の手法です。
膜の平坦性、微粒子の形成など、他の蒸着法では得られない効果を得ることができます。