アルバックグループの
高速分光エリプソメータ

UNECSシリーズは薄膜の膜厚や屈折率を高速・高精度に測定する分光エリプソメータです。
独特な測定方式を採用し、高速測定とコンパクト化を実現しています。
ユニークなポータブルタイプをはじめ、自動ステージタイプや真空環境に対応した装置ビルトインタイプまで、用途に応じ幅広いラインアップを用意しております。
UNECS-Portableは、測定部の重量が2.2kgと軽量・コンパクトで、持ち運びも容易にできるポータブルタイプです。
小型サンプル用に簡易的な固定ステージが付属し、ステージから取り外して大型のサンプルなどの測定もできます。

UNECSシリーズは薄膜の膜厚や屈折率を高速・高精度に測定する分光エリプソメータです。
独特な測定方式を採用し、高速測定とコンパクト化を実現しています。
ユニークなポータブルタイプをはじめ、自動ステージタイプや真空環境に対応した装置ビルトインタイプまで、用途に応じ幅広いラインアップを用意しております。
UNECS-1500Mは、操作性の良いΦ150mm 対応の手動式R-θステージを装備しており、測定位置決めが容易に行なえます。

UNECSシリーズは薄膜の膜厚や屈折率を高速・高精度に測定する分光エリプソメータです。
独特な測定方式を採用し、高速測定とコンパクト化を実現しています。
ユニークなポータブルタイプをはじめ、自動ステージタイプや真空環境に対応した装置ビルトインタイプまで、用途に応じ幅広いラインアップを用意しております。
UNECS-1500A/2000A/3000Aは、自動R-θステージとオートフォーカス機能により基板面内の膜厚分布を素早く自動測定し、結果をカラーマップ表示します。

UNECSシリーズは薄膜の膜厚や屈折率を高速・高精度に測定する分光エリプソメータです。
独特な測定方式を採用し、高速測定とコンパクト化を実現しています。
ユニークなポータブルタイプをはじめ、自動ステージタイプや真空環境に対応した装置ビルトインタイプまで、用途に応じ幅広いラインアップを用意しております。
UNECS-1500A/2000A/3000Aは、自動R-θステージとオートフォーカス機能により基板面内の膜厚分布を素早く自動測定し、結果をカラーマップ表示します。

UNECSシリーズは薄膜の膜厚や屈折率を高速・高精度に測定する分光エリプソメータです。
独特な測定方式を採用し、高速測定とコンパクト化を実現しています。
ユニークなポータブルタイプをはじめ、自動ステージタイプや真空環境に対応した装置ビルトインタイプまで、用途に応じ幅広いラインアップを用意しております。
UNECS-1500A/2000A/3000Aは、自動R-θステージとオートフォーカス機能により基板面内の膜厚分布を素早く自動測定し、結果をカラーマップ表示します。

UNECSシリーズは薄膜の膜厚や屈折率を高速・高精度に測定する分光エリプソメータです。
独特な測定方式を採用し、高速測定とコンパクト化を実現しています。
ユニークなポータブルタイプをはじめ、自動ステージタイプや装置ビルトインタイプまで、用途に応じ幅広いラインアップを用意しております。
UNECS-1Mは、軽量・コンパクトなセンサユニットにより、組み込みが容易に行なえます。

VLSIの標準試料です。