ビルトインタイプ
ビルトインタイプの導入・購入・検討について
コンパクトで軽量な投受光センサヘッドにより、検査装置などへの組み込みが容易なビルトインモデルです。
ビルトインタイプ
UNECS-1M
UNECSシリーズは薄膜の膜厚や屈折率を高速・高精度に測定する分光エリプソメータです。
独特な測定方式を採用し、高速測定とコンパクト化を実現しています。
ユニークなポータブルタイプをはじめ、自動ステージタイプや装置ビルトインタイプまで、用途に応じ幅広いラインアップを用意しております。
UNECS-1Mは、軽量・コンパクトなセンサユニットにより、組み込みが容易に行なえます。