手動タイプ Model: UNECS-1500M
アルバック
Model: UNECS-1500Mの導入・購入・検討について
UNECSシリーズは薄膜の膜厚や屈折率を高速・高精度に測定する分光エリプソメータです。
独特な測定方式を採用し、高速測定とコンパクト化を実現しています。
UNECS-1500Mは、操作性の良いΦ150mm 対応の手動式R-θステージを装備しており、測定位置決めが容易に行なえます。
独特な測定方式を採用し、高速測定とコンパクト化を実現しています。
UNECS-1500Mは、操作性の良いΦ150mm 対応の手動式R-θステージを装備しており、測定位置決めが容易に行なえます。
特長
- 高速測定：
独特なスナップショット方式の採用により、最速20msの高速測定を実現しました。 - 可視分光対応：
波長範囲は標準タイプ（530nm～750nm）および可視分光タイプ（380nm～760nm）から選択できます。 - コンパクトなセンサユニット：
投受光センサは回転機構を持たない光学素子のみで構成されており非常に軽量・コンパクトで、定期的なメンテナンスも必要もありません。 - 150mm手動ステージ：
Φ150mm対応の手動式R-θステージを搭載し、測定位置決めを容易に行う事が出来ます。
用途
- 透明または半透明薄膜（酸化膜、窒化膜、レジスト、ITO など） の膜厚、屈折率、消衰係数の測定
仕様
| 波長範囲 | 530～750nm、380～760nm（どちらか選択） | |
| スポット径 | Φ1mm、Φ0.3mm（どちらか選択） | |
| 入射角度 | 70°固定 | |
| 膜厚再現性 | 1σ = 0.1nm | |
| 膜厚範囲 | 1nm ～ 2μｍ | |
| 測定時間 | 受光：20ms ～ 3000ms 演算：300ms | |
| ステージ | Φ150mm手動式R-θステージ | |
| 制御PC | ノートブックタイプ（操作・解析ソフト付き） | |
| 機器構成 | 測定本体（手動ステージ、コントロールBOX付き） 光源ユニット、操作PC（ノートタイプ）、取扱説明書（CD） |
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