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真空ポンプ（高真空）
真空ポンプ（高真空）の導入・購入・検討について
真空ポンプとは、密閉された空間から気体を排出し、大気圧よりも低い圧力状態（真空）を作り出す機械です。真空ポンプには、排気するしくみや排気速度によって、多くの種類があり、目的や用途によって使い分ける必要があります。
1×10-2Paから1×10-6Paの範囲を高真空、1×10-7Paから1×10-9Paの範囲を超高真空、1×10-10Pa以下を極高真空と言います。
ポンプ種類
クライオポンプ
クライオポンプは、高真空から超高真空までの状態を実現するための溜込式真空ポンプです。このポンプは、内部に設置された極低温面で気体を凝縮・吸着し、効率的に捕捉します。クライオポンプの最大の特徴は、油による汚染がないクリーンな真空を提供できる点です。
さらに、クライオポンプは吸着方式を採用しているにもかかわらず、他の真空ポンプと比較して排気速度が非常に速いことが注目されています。このため、クライオポンプは、クリーンで効率的な真空環境を必要とするさまざまな産業や研究分野で広く利用されています。
クライオポンプの導入を検討する際には、その高い性能とクリーンな真空環境の提供能力が大きな利点となります。
スーパートラップ
スーパートラップは、小型ヘリウム冷凍機を使用しており、環境破壊の心配が全くありません。この装置は、80K以下の温度まで冷却可能で、低真空から超高真空までの広範囲で使用できます。これらの特性により、スーパートラップはターボ分子ポンプの排気性能を向上させるためのトラップや、拡散ポンプのトラップとして、さらには水排気専用の真空ポンプとしても利用されています。
スーパートラップの導入を検討する際には、その環境に優しい設計と広範囲での使用可能性が大きな利点となります。
ターボ分子ポンプ
ターボ分子ポンプは、高真空環境を実現するための重要な装置であり、半導体製造や研究施設などで広く使用されています。このポンプは、分子を高速で移動させることにより、効率的に真空を生成します。
ターボ分子ポンプは、高速回転するローターと固定されたステーターから構成されています。ローターのブレードが分子に衝突し、分子を排気口に向かって加速させることで、真空を作り出します。このプロセスは、分子の運動エネルギーを利用しており、非常に効率的です。
ターボ分子ポンプは、他の真空ポンプと比較して非常に高い排気速度を持ち、迅速に真空環境を整えることができる上、油を使用しないためクリーンな真空環境を提供でき、半導体製造などの精密な作業に最適であり、さらに低真空から超高真空まで対応可能な広範囲な適用性を持ち、さまざまな産業や研究分野で利用されています。
ターボ分子ポンプ
UTM-MS
New Product
磁気軸受を採用したコントローラ別置き型のターボ分子ポンプです。300～4000L/sの排気速度を持った機種をラインアップ致しました。コントローラ部では運転状態のモニターが出来て、各種通信規格に対応します。
ターボ分子ポンプ
YTPｰB
YTPシリーズ Ver.Bは、セラミック玉軸受型ターボ分子ポンプを搭載した高真空排気ユニットです。
大気圧から高真空までの排気が可能です。
START/STOPスイッチで自動で排気可能なSAタイプと、手動操作のMタイプをラインアップしています。
また、補助ポンプは、ロータリーポンプを標準仕様とし、ドライスクロールポンプのドライ仕様も選択可能です。
ターボ分子ポンプ
YTP70A
セラミック玉軸受型ターボ分子ポンプを搭載した、デスクトップ型の高真空排気ユニットです。
デスクトップでの使用環境に配慮し、動作時の運転音、振動を低減しました。
また、機器操作にはタッチパネルを採用し、分かり易い表示アイコンでシンプル操作が可能です。
ターボ分子ポンプ
UTM-B
セラミック玉軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。
コントローラとポンプの一体化により省スペースを実現。
優れた高背圧特性により補助ポンプの小型化も可能になりました。
ターボ分子ポンプ
VPT-060
ベース架台内にターボ分子ポンプ・ドライ真空ポンプ・バルブ配管・電気系等の必要機器をコンパクトに構成した、ドライタイプで小型の高真空排気装置です。
半導体・分析・検査・理化学・製薬等の各分野における、クリーンな真空環境に最適です。
スパッタイオンポンプ
スパッタイオンポンプは、電場と磁場を利用してガス分子をイオン化します。イオン化された分子は、電場によって加速され、固体のターゲット表面に衝突します。この衝突により、分子は表面に埋め込まれ、真空が生成されます。このプロセスは、特に不活性ガスや反応性ガスの除去に効果的です。
スパッタイオンポンプは、10^-11 Torr以下の超高真空を達成できるため精密な実験や製造プロセスに最適であり、機械的な可動部品がないため長寿命でメンテナンスが少なくて済み、油を使用しないことでクリーンで汚染のない真空環境を提供し、さらに他の真空ポンプと比較して消費電力が低くエネルギー効率が高いという利点があります。
油拡散ポンプ
油拡散真空ポンプは、加熱された油を蒸発させて油蒸気を生成します。この油蒸気は、ノズルを通って高速で噴射され、ガス分子と衝突します。衝突したガス分子は、油蒸気の流れに乗って排気口に向かって移動し、真空が形成されます。このプロセスは、特に高真空を必要とするアプリケーションにおいて非常に効果的です。
油拡散真空ポンプは、10^-7 Torrから10^-9 Torrの高真空を達成できるため多くの産業用途に適しており、他の高真空ポンプと比較して初期コストが低く経済的に導入しやすい上、シンプルな構造により長期間にわたって安定した性能を発揮する信頼性と耐久性を持ち、半導体製造、金属加工、研究開発などのさまざまな分野で広範囲に利用されています。
油拡散ポンプ
PFL
ULVACのPFL型油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟは､長年の研究･豊富な製作経験を活かして､設計･製作されています｡ 22B ～ 52B までの 4 機種をﾗｲﾝｱｯﾌﾟしています｡ 数多くの真空炉などの大型真空装置･高真空生産設備に採用されていて､その実用性能を高く評価されています｡
排気ユニット
真空排気ユニットは、大気圧から動作でき真空ポンプと動作上限圧力のある真空ポンプを組み合わせた製品や、真空排気以外の機能を兼ね備えた製品です。
排気ユニット
VPC-051
パイプフレームにメインポンプ・補助ポンプ・バルブ配管・電気系・圧力測定ポート等の必要機器をコンパクトに収納した、低コストタイプの小型高真空排気装置です。
取扱いや保守点検が容易で実験用に最適です。
排気ユニット
VPC-051A
パイプフレームにメインポンプ・補助ポンプ・バルブ配管・電気系・圧力測定ポート等の必要機器をコンパクトに収納した、低コストタイプの小型高真空排気装置です。
取扱いや保守点検が容易で実験用に最適です。
排気ユニット
VPC-250F
パイプフレームにメインポンプ・補助ポンプ・バルブ配管・電気系・圧力測定ポート等の必要機器をコンパクトに収納した、低コストタイプの小型高真空排気装置です。
取扱いや保守点検が容易で実験用に最適です。
排気ユニット
VFR-200M/X
架台内にメインポンプ・補助ポンプ・バルブ配管・電気系・圧力測定ポート等の必要機器をコンパクトに収納した、小型の高真空排気装置です。
DEPOXシリーズは、排気系の構成が異なる４タイプを用意しています。取扱いが容易で実験用に最適です。
排気ユニット
VWR-400M/X
架台内にメインポンプ・補助ポンプ・バルブ配管・電気系・圧力測定ポート等の必要機器をコンパクトに収納した、小型の高真空排気装置です。
DEPOXシリーズは、排気系の構成が異なる４タイプを用意しています。取扱いが容易で実験用に最適です。
排気ユニット
VTR-350M/X
架台内にメインポンプ・補助ポンプ・バルブ配管・電気系・圧力測定ポート等の必要機器をコンパクトに収納した、小型の高真空排気装置です。
DEPOXシリーズは、排気系の構成が異なる４タイプを用意しています。取扱いが容易で実験用に最適です。
排気ユニット
VTS-350M/X
架台内にメインポンプ・補助ポンプ・バルブ配管・電気系・圧力測定ポート等の必要機器をコンパクトに収納した、小型の高真空排気装置です。
DEPOXシリーズは、排気系の構成が異なる４タイプを用意しています。取扱いが容易で実験用に最適です。
高真空ポンプ油
油拡散真空ポンプは、産業や研究施設で広く使用される高性能な真空ポンプです。その性能を最大限に引き出すためには、適切なオイルの選定が不可欠です。
高真空ポンプ油
ULVOIL Bシリーズ
ULVAC純正油「ULVOIL」Bシリーズはエゼクタポンプ向けに、開発された専用オイルです。ポンプの用途・目的別に取り揃えたラインナップの中から、皆様のお使いのポンプに最適なオイルをお選びいただけます。そのオイル特性は真空ポンプを知り尽くしたULVACならではの高品質特性、コストパフォーマンスを追求した、ULVACが自信をもってお勧めするオイルです。
高真空ポンプ油
ULVOIL Dシリーズ
ULVAC純正油「ULVOIL」Dシリーズは油拡散ポンプ向けに開発された専用オイルです。ポンプの用途・目的別に取り揃えたラインナップの中から、皆様のお使いのポンプに最適なオイルをお選びいただけます。そのオイル特性は真空ポンプを知り尽くしたULVACならではの高品質特性、コストパフォーマンスを追求した、ULVACが自信をもってお勧めするオイルです。
