クライオポンプ

CRYO-U シリーズ

CRYO-U10H

アルバック・クライオ

アルバック・クライオは、エレクトロニクス、光学、太陽エネルギー、核融合、宇宙開発ほか、各方面に数多くご使用いただき、実績を積み重ねてまいりました。

特長

マルチ運転(2台)によりランニングコスト低減が可能。
実験装置、中規模生産装置向き。

仕様

排気速度(20℃) 窒素 L/s 2,400
水素 3,600
アルゴン 2,000
6,900
到達圧力 Pa(Torr) 10-7(10-9)
最大流量 アルゴン Pa・L/s(Torr・L/s) 8.0×102(6.0)
水素 1.5×102(1.1)
排気容量 アルゴン Pa・L(Torr・L) 1.0×108(7.8×105)
水素 6.7×105(5.0×103)
冷却降下時間
(電力サイクル)
min(Hz) 110/100(50/60)
吸気口フランジ UVG-250
コンプレッサユニット C15R
質量 Kg 29.0

*メンテナンスインターバル:16,000時間
*移動ベースはオプションです

この製品に関するお問い合わせ

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