クライオポンプ

CRYO-U シリーズ

CRYO-U12H

アルバック・クライオ

アルバック・クライオは、エレクトロニクス、光学、太陽エネルギー、核融合、宇宙開発ほか、各方面に数多くご使用いただき、実績を積み重ねてまいりました。

特長

  • 中、大規模生産装置に最適。
  • 熱負荷に強く、多様なプロセスに対応。

外形寸法 (単位:mm)

u12h.gif

仕様

排気速度(20℃) 窒素 L/s 4,000
水素 6,000
アルゴン 3,300
9,500
到達圧力 Pa(Torr) 10-7(10-9)
最大流量 アルゴン Pa・L/s(Torr・L/s) 2.0×103(15)
水素 4.1×102(3.1)
排気容量 アルゴン Pa・L(Torr・L) 2.1×108(1.6×106)
水素 9.8×105(7.4×103)
冷却降下時間
(電力サイクル)
min(Hz) 85/75(50/60)
吸気口フランジ UVG-300,10BANSI
コンプレッサユニット C30VRT
質量 Kg 40.0

*メンテナンスインターバル:16,000時間
*移動ベースはオプションです

この製品に関するお問い合わせ

このサイトでは、お客様の利便性や利用状況の把握などのためにCookieを使用してアクセスデータを取得・利用しています。Cookieの使用に同意する場合は、
「同意しました」をクリックしてください。「個人情報保護方針」「Cookie Policy」をご確認ください。

同意しました