クライオポンプ

CRYO-U シリーズ

CRYO-U22WB

アルバック・クライオ

アルバック・クライオは、エレクトロニクス、光学、太陽エネルギー、核融合、宇宙開発ほか、各方面に数多くご使用いただき、実績を積み重ねてまいりました。

外形寸法 (単位:mm)

u22wb.gif

仕様

排気速度(20℃) 窒素 L/s 13,000
水素 16,500
アルゴン 11,000
39,000
到達圧力 Pa(Torr) 10-7(10-9)
最大流量 アルゴン Pa・L/s(Torr・L/s) 3.5×103(26)
水素 1.3×103(9.6)
排気容量 アルゴン Pa・L(Torr・L) 8.1×108(6.1×106)
水素 8.5×106(6.4×104)
冷却降下時間
(電力サイクル)
min(Hz) 165/150(50/60)
吸気口フランジ UVG-550
コンプレッサユニット C30PMVRT×1
質量 Kg 125.0

*メンテナンスインターバル:16,000時間

この製品に関するお問い合わせ

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