クライオポンプ

CRYO-U シリーズ

CRYO-U30H

アルバック・クライオ

アルバック・クライオは、エレクトロニクス、光学、太陽エネルギー、核融合、宇宙開発ほか、各方面に数多くご使用いただき、実績を積み重ねてまいりました。

特長

  • 大型成膜装置、スペースチャンバー等に最適。
  • 水に対する排気速度は最大。

外形寸法 (単位:mm)

u30h1.gif

仕様

排気速度(20℃) 窒素 L/s 28,000
水素 43,000
アルゴン 23,000
70,000
到達圧力 Pa(Torr) 10-7(10-9)
最大流量 アルゴン Pa・L/s(Torr・L/s) 2.7×103(20)
水素 7.4×102(5.6)
排気容量 アルゴン Pa・L(Torr・L) 7.8×108(5.9×106)
水素 1.5×107(1.1×105)
冷却降下時間
(電力サイクル)
min(Hz) 240/200(50/60)
吸気口フランジ VG-750
コンプレッサユニット C30VRT×2
質量 Kg 175.0

*メンテナンスインターバル:16,000時間

U22H,U30Hは、外国為替および外国貿易管理法の規定により戦略物資等輸出規制品に該当します。
日本国外に持ち出す際は日本国政府の輸出許可申請等必要な手続きをお取りください。

この製品に関するお問い合わせ

このサイトでは、お客様の利便性や利用状況の把握などのためにCookieを使用してアクセスデータを取得・利用しています。Cookieの使用に同意する場合は、
「同意しました」をクリックしてください。「個人情報保護方針」「Cookie Policy」をご確認ください。

同意しました