クライオポンプ

CRYO-U シリーズ

CRYO-U4H

アルバック・クライオ

アルバック・クライオは、エレクトロニクス、光学、太陽エネルギー、核融合、宇宙開発ほか、各方面に数多くご使用いただき、実績を積み重ねてまいりました。

特長

  • 4型のクライオポンプで最高の排気特性を発揮します。
  • 高い排気速度は、排気効率と生産性の向上に寄与します。
  • 特に半導体製造装置のスパッタプロセスや小規模の装置に適しています。
  • 1台のコンプレッサーで4台までのポンプを運転することが可能です。
  • ご使用の用途に合わせた設計、製作が可能です。

外形寸法 (単位:mm)

u4h.gif

仕様

排気速度(20℃) 窒素 L/s 450
水素 500
アルゴン 370
1,100
到達圧力 Pa 10-7
最大流量 アルゴン Pa・L/s 1.3×103
排気容量 アルゴン Pa・L 1.0×107
水素 1.5×105
冷却降下時間 min(50/60Hz) 45/50
質量 Kg 14.5

この製品に関するお問い合わせ

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