クライオポンプ

CRYO-U シリーズ

CRYO-U6H

アルバック・クライオ

アルバック・クライオは、エレクトロニクス、光学、太陽エネルギー、核融合、宇宙開発ほか、各方面に数多くご使用いただき、実績を積み重ねてまいりました。

特長

  • 軽量・コンパクト、標準品で最も小型のポンプ。
  • 実験室、研究室における小型の真空装置に最適。
  • マルチ運転(最大3台)が可能。
  • 超高真空(10-8Pa以下)が可能。

外形寸法 (単位:mm)

u6h.gif

仕様

排気速度(20℃) 窒素 L/s 750
水素 1,100
アルゴン 620
2,100
到達圧力 Pa(Torr) 10-7(10-9)
最大流量 アルゴン Pa・L/s(Torr・L/s) 1.1×103(7.9)
水素 1.1×102(0.8)
排気容量 アルゴン Pa・L(Torr・L) 5.6×107(4.2×105)
水素 3.1×105(2.3×103)
冷却降下時間 (電力サイクル) min(Hz) 80/70(50/60)
吸気口フランジ UVG-150,UFC-203
コンプレッサユニット C10T,C10AT
質量 Kg 19

*メンテナンスインターバル:16,000時間

この製品に関するお問い合わせ

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