クライオポンプ

CRYO-U シリーズ

CRYO-U8H

アルバック・クライオ

アルバック・クライオは、エレクトロニクス、光学、太陽エネルギー、核融合、宇宙開発ほか、各方面に数多くご使用いただき、実績を積み重ねてまいりました。

特長

  • 軽量・コンパクトで出荷台数も多く、クライオポンプのスタンダード。
  • 実験装置、小型生産装置向き。
  • マルチ運転(最大3台)が可能。
  • 超高真空(10-8Pa以下)が可能。

外形寸法 (単位:mm)

u8h.gif

仕様

排気速度(20℃) 窒素 L/s 1,700
水素 2,700
アルゴン 1,400
4,000
到達圧力 Pa(Torr) 10-7(10-9)
最大流量 アルゴン Pa・L/s(Torr・L/s) 1.2×103(8.9)
水素 2.4×102(1.8)
排気容量 アルゴン Pa・L(Torr・L) 1.0×108(7.6×105)
水素 1.0×106(7.6×103)
冷却降下時間
(電力サイクル)
min(Hz) 100/90(50/60)
吸気口フランジ UVG-200,6BANSI,UFC-253
コンプレッサユニット C10T,C10AT
質量 Kg 20.8

*メンテナンスインターバル:16,000時間

この製品に関するお問い合わせ

このサイトでは、お客様の利便性や利用状況の把握などのためにCookieを使用してアクセスデータを取得・利用しています。Cookieの使用に同意する場合は、
「同意しました」をクリックしてください。「個人情報保護方針」「Cookie Policy」をご確認ください。

同意しました