CRYO-U10H

アルバック・クライオ

アルバック・クライオは、エレクトロニクス、光学、太陽エネルギー、核融合、宇宙開発ほか、各方面に数多くご使用いただき、実績を積み重ねてまいりました。

特長

マルチ運転（2台）によりランニングコスト低減が可能。
実験装置、中規模生産装置向き。

仕様

排気速度(20℃)	窒素	L/s	2,400
	水素		3,600
	アルゴン		2,000
	水		6,900
到達圧力	Pa(Torr)		10^-7(10^-9)
最大流量	アルゴン	Pa・L/s(Torr・L/s)	8.0×10²(6.0)
排気容量	アルゴン	Pa・L(Torr・L)	1.0×10⁸(7.8×10⁵)
排気容量	水素	Pa・L(Torr・L)	6.7×10⁵(5.0×10³)
冷却降下時間 (電力サイクル)	min(Hz)		110/100(50/60)
吸気口フランジ			UVG-250
コンプレッサユニット			C15R
質量		Kg	29.0

*メンテナンスインターバル：16,000時間
*移動ベースはオプションです

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オプションパーツ・消耗品

クライオポンプ　オプション

再生ガス配管ユニット　PR1A 再生ガス配管ユニット　PR2A 再生ガス配管ユニット　PR3A バンドヒータ　RBH-6 バンドヒータ　RBH-8 バンドヒータ　RBH-8HSP バンドヒータ　RBH-10 バンドヒータ　RBH-12 バンドヒータ　RBH-16 バンドヒータ　RBH-20 バンドヒータ　RBH-22 バンドヒータ　RBH-22P バンドヒータ　RBH-30

取扱説明書・仕様書
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アプリケーション
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仕様

排気速度(20℃)	窒素	L/s	2,400
	水素		3,600
	アルゴン		2,000
	水		6,900
到達圧力	Pa(Torr)		10^-7(10^-9)
最大流量	アルゴン	Pa・L/s(Torr・L/s)	8.0×10²(6.0)
排気容量	アルゴン	Pa・L(Torr・L)	1.0×10⁸(7.8×10⁵)
排気容量	水素	Pa・L(Torr・L)	6.7×10⁵(5.0×10³)
冷却降下時間 (電力サイクル)	min(Hz)		110/100(50/60)
吸気口フランジ			UVG-250
コンプレッサユニット			C15R
質量		Kg	29.0