クライオポンプ
CRYO-U10HSP
アルバック・クライオ
アルバック・クライオは、エレクトロニクス、光学、太陽エネルギー、核融合、宇宙開発ほか、各方面に数多くご使用いただき、実績を積み重ねてまいりました。
外形寸法 (単位:mm)
仕様
排気速度(20℃) | 窒素 | L/s | 2,400 |
水素 | 3,600 | ||
アルゴン | 2,000 | ||
水 | 6,900 | ||
到達圧力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
最大流量 | アルゴン | Pa・L/s(Torr・L/s) | 1.30×103(9.8) |
排気容量 | アルゴン | Pa・L(Torr・L) | 2.0×108(1.5×106) |
水素 | 1.2×106(9.0×103) | ||
冷却降下時間 (電力サイクル) |
min(Hz) | 120/110(50/60) | |
吸気口フランジ | UVG-250,10BANSI | ||
コンプレッサユニット | C15T | ||
質量 | Kg | 36.0 |
*メンテナンスインターバル:16,000時間
*移動ベースはオプションです