クライオポンプ CRYO-U4H
アルバック・クライオ
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CRYO-U4Hの導入・購入・検討について
アルバック・クライオは、エレクトロニクス、光学、太陽エネルギー、核融合、宇宙開発ほか、各方面に数多くご使用いただき、実績を積み重ねてまいりました。
特長
- 4型のクライオポンプで最高の排気特性を発揮します。
- 高い排気速度は、排気効率と生産性の向上に寄与します。
- 特に半導体製造装置のスパッタプロセスや小規模の装置に適しています。
- １台のコンプレッサーで4台までのポンプを運転することが可能です。
- ご使用の用途に合わせた設計、製作が可能です。
外形寸法 (単位:mm)
仕様
| 排気速度(20℃) | 窒素 | L/s | 450 |
| 水素 | 500 | ||
| アルゴン | 370 | ||
| 水 | 1,100 | ||
| 到達圧力 | Pa | 10-7 | |
| 最大流量 | アルゴン | Pa・L/s | 1.3×103 |
| 排気容量 | アルゴン | Pa・L | 1.0×107 |
| 水素 | 1.5×105 | ||
| 冷却降下時間 | min(50/60Hz) | 45/50 | |
| 質量 | Kg | 14.5 | |
