CRYO-U4H

アルバック・クライオ

アルバック・クライオは、エレクトロニクス、光学、太陽エネルギー、核融合、宇宙開発ほか、各方面に数多くご使用いただき、実績を積み重ねてまいりました。

特長

4型のクライオポンプで最高の排気特性を発揮します。
高い排気速度は、排気効率と生産性の向上に寄与します。
特に半導体製造装置のスパッタプロセスや小規模の装置に適しています。
１台のコンプレッサーで4台までのポンプを運転することが可能です。
ご使用の用途に合わせた設計、製作が可能です。

外形寸法 (単位:mm)

仕様

排気速度(20℃)	窒素	L/s	450
	水素		500
	アルゴン		370
	水		1,100
到達圧力	Pa		10^-7
最大流量	アルゴン	Pa・L/s	1.3×10³
排気容量	アルゴン	Pa・L	1.0×10⁷
排気容量	水素	Pa・L	1.5×10⁵
冷却降下時間	min(50/60Hz)		45/50
質量		Kg	14.5

該非判定結果報告書
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オプションパーツ・消耗品

クライオポンプ　オプション

再生ガス配管ユニット　PR1A 再生ガス配管ユニット　PR2A 再生ガス配管ユニット　PR3A バンドヒータ　RBH-6 バンドヒータ　RBH-8 バンドヒータ　RBH-8HSP バンドヒータ　RBH-10 バンドヒータ　RBH-12 バンドヒータ　RBH-16 バンドヒータ　RBH-20 バンドヒータ　RBH-22 バンドヒータ　RBH-22P バンドヒータ　RBH-30