CRYO-U8HL|クライオポンプ|真空ポンプ(高真空)|製品情報|ULVAC SHOWCASE
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クライオポンプ

CRYO-U8HL

アルバック・クライオ

アルバック・クライオは、エレクトロニクス、光学、太陽エネルギー、核融合、宇宙開発ほか、各方面に数多くご使用いただき、実績を積み重ねてまいりました。

特長

  • CTI製クライオポンプCT-8と完全互換機。
  • CT-8に比べ水素の排気特性が優れている
  • マルチ運転(最大3台)が可能。

仕様

排気速度(20℃) 窒素 L/s 1,700
水素 2,700
アルゴン 1,400
4,000
到達圧力 Pa(Torr) 10-7(10-9)
最大流量 アルゴン Pa・L/s(Torr・L/s) 1.2×103(8.9)
排気容量 アルゴン Pa・L(Torr・L) 1.0×108(7.6×105)
水素 1.0×106(7.6×103)
冷却降下時間
(電力サイクル)
min(Hz) 100/90(50/60)
吸気口フランジ UVG-200,6BANSI,UFC-253
コンプレッサユニット C10T,C10AT
質量 Kg 20.8

*メンテナンスインターバル:16,000時間

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