VPC-051|排気ユニット|真空ポンプ(高真空)|製品情報|ULVAC SHOWCASE

排気ユニット

VPC-051

アルバック機工

パイプフレームにメインポンプ・補助ポンプ・バルブ配管・電気系・圧力測定ポート等の必要機器をコンパクトに収納した、低コストタイプの小型高真空排気装置です。
取扱いや保守点検が容易で実験用に最適です。

特長

  • 卓上型でコンパクトサイズにより、省スペースでの設置が可能です。
  • メインポンプを停止させることなく真空槽の開放を行うことが可能です。
  • 油拡散ポンプは空冷型のため冷却水が不要です。

仕様

 型   式 VPC-051
到達圧力
7.0×10-4Pa
1.5×10-4Pa(液体窒素使用時)
メインポンプ
油拡散ポンプ(空冷) 50 L/sec
補助ポンプ
油回転真空ポンプ 20 L/min
メインバルブ
25Aバタフライバルブ
補助バルブ
三方向バルブ
吸気口
VG-25
質量
20kg
最大寸法 (W幅×D奥行き×H高さ)
350mm(W)×320mm(D)×461mm(H)
電離真空計・ピラニ真空計・液体窒素トラップ・吸気フランジ・オイルミストトラップはオプションです。

ユーティリティ

 型   式 VPC-051
所要電気量
単相 100V 0.63kVA
アース端子
D種 (接地抵抗値/100MΩ以下)
取り合い
ビニルキャプタイヤケーブル(プラグ付) 2m

油拡散ポンプ

ph_dpf050.jpg

型   式 DPF-050
到達圧力 10-5Pa
最大排気速度 50L/sec
臨界背圧 13Pa
所要電力 単相 100V 0.25kW
使用油 SY 20cc
質量 1.8kg
吸気フランジ VG-25
排気管 Φ14mm
冷却方式
空冷

寸法図

zu_vpc051.gif

排気系統図

zu_vpc051_haiki.gif

該非判定結果報告書
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オプションパーツ・消耗品

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アプリケーション
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