排気ユニット

VPT シリーズ

VPT-060

アルバック機工

ベース架台内にターボ分子ポンプ・ドライ真空ポンプ・バルブ配管・電気系等の必要機器をコンパクトに構成した、ドライタイプで小型の高真空排気装置です。
半導体・分析・検査・理化学・製薬等の各分野における、クリーンな真空環境に最適です。

特長

  • 完全ドライの排気ユニットです。
  • 設置スペースがコンパクトです。

仕様

型  式
VPT-060
到達圧力
10-5 Pa台
メインポンプ ターボ分子ポンプ(空冷)60L/sec
補助ポンプ ダイアフラム型ドライ真空ポンプ 20 L/min
吸気口 ISO63(オプション:KF-40)
質量 17kg
最大寸法 (W幅×D奥行き×H高さ) 340mm(W)×340mm(D)×355mm(H)
電離真空計・ピラニ真空計・配管部品はオプションです。
使用条件により、性能が低下することがあります。

ユーティリティ

型  式
VPT-060
所要電気量
単相 100V 0.3kVA
アース端子
D種 (接地抵抗値/100MΩ以下)
取り合い
ビニルキャプタイヤケーブル(プラグ付) 2m

寸法図

zu_vpt060.gif

> CADデータダウンロード(DXF)

排気系統図

zu_vpt060_flow.gif

オプショナルパーツ

zu_vpt060_op.gif

> オプショナルパーツサイトへ

この製品に関するお問い合わせ

このサイトでは、お客様の利便性や利用状況の把握などのためにCookieを使用してアクセスデータを取得・利用しています。Cookieの使用に同意する場合は、
「同意しました」をクリックしてください。「個人情報保護方針」「Cookie Policy」をご確認ください。

同意しました