VPT-060|VPT シリーズ|排気ユニット|真空ポンプ(高真空)|製品情報|ULVAC SHOWCASE

排気ユニット

VPT シリーズ

VPT-060

アルバック

ベース架台内にターボ分子ポンプ・ドライ真空ポンプ・バルブ配管・電気系等の必要機器をコンパクトに構成した、ドライタイプで小型の高真空排気装置です。
半導体・分析・検査・理化学・製薬等の各分野における、クリーンな真空環境に最適です。

特長

  • 完全ドライの排気ユニットです。
  • 設置スペースがコンパクトです。

仕様

50Hz 60Hz
到達圧力 10-5 Pa
質量 17 kg
吸・排気口 ISO63(オプション:KF-40)
使用雰囲気温度範囲 8~38 ℃
最大寸法 340 mm(W) × 340 mm(L) × 355 mm(H)
RoHS対応
※電離真空計・ピラニ真空計・配管部品はオプションです。
※使用条件により、性能が低下することがあります。

寸法図

zu_vpt060.gif

該非判定結果報告書
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オプションパーツ・消耗品

取扱説明書・仕様書
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アプリケーション
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