排気ユニット
VPT シリーズ
VPT-060
アルバック
ベース架台内にターボ分子ポンプ・ドライ真空ポンプ・バルブ配管・電気系等の必要機器をコンパクトに構成した、ドライタイプで小型の高真空排気装置です。
半導体・分析・検査・理化学・製薬等の各分野における、クリーンな真空環境に最適です。
半導体・分析・検査・理化学・製薬等の各分野における、クリーンな真空環境に最適です。
特長
- 完全ドライの排気ユニットです。
- 設置スペースがコンパクトです。