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排気ユニット
VTS-350M/X
アルバック機工
架台内にメインポンプ・補助ポンプ・バルブ配管・電気系・圧力測定ポート等の必要機器をコンパクトに収納した、小型の高真空排気装置です。
DEPOXシリーズは、排気系の構成が異なる４タイプを用意しています。取扱いが容易で実験用に最適です。
DEPOXシリーズは、排気系の構成が異なる４タイプを用意しています。取扱いが容易で実験用に最適です。
特長
- メインポンプを停止させることなく真空槽の開放を行うことが可能です。
- 三方向バルブを使用するなど、構成部品が少ないので、メンテナンスが容易です。
- 真空計等のオプションを同一架台内に収納可能です。
- キャスター付で、移動が容易な排気装置です。
- アジャスター付で、設置の安全性を確保できます。
仕様
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型 式
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VTS-350M/X |
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到達圧力
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10-４Pa台 10-５Pa（液体窒素使用時） |
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メインポンプ
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ターボ分子ポンプ 345 L/sec |
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補助ポンプ
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スクロールポンプ 250 L/min |
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メインバルブ
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100A バタフライバルブ |
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補助バルブ
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三方向バルブ |
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吸気口
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VG-100 |
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質量
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135kg |
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最大寸法 （W幅×D奥行き×H高さ）
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730mm(W)×584mm(D)×804mm(H) |
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※電離真空計・ピラニ真空計・液体窒素トラップ・吸気フランジはオプションです。
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ユーティリティ
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型 式
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VTS-350M/X |
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所要電気量
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単相 100V 0.9kVA |
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アース端子
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Ｄ種 （接地抵抗値／100MΩ以下） |
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取り合い
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ビニルキャプタイヤケーブル（R3.5-4圧着端子付） 4m |
寸法図
排気系統図
