高真空ポンプ油

ULVOIL（高真空ポンプ用）

ULVOIL Dシリーズ

アルバック

ULVAC純正油「ULVOIL」Dシリーズは油拡散ポンプ向けに開発された専用オイルです。ポンプの用途・目的別に取り揃えたラインナップの中から、皆様のお使いのポンプに最適なオイルをお選びいただけます。そのオイル特性は真空ポンプを知り尽くしたULVACならではの高品質特性、コストパフォーマンスを追求した、ULVACが自信をもってお勧めするオイルです。

ULVOIL Dシリーズ	炭化水素系油拡散ポンプ油	シリコン系油拡散ポンプ油	試験法
ULVOIL Dシリーズ	D-11	D-31	試験法
到達圧力 (Pa)	7.0E-5	3.0E-8	社内評価法
外観色 25℃	淡黄色透明	無色透明	視覚判定
蒸気圧 20℃ (Pa)	7.3E-5	2.1E-8	ー
蒸気圧 40℃ (Pa)	1.7E-3	2.1E-6	ー
蒸気圧 100℃ (Pa)	1.5E-1	1.1E-3	ー
比熱 (J/g)	0.5(100℃)	0.4(100℃)	JIS K 2249
蒸発潜熱 (J/kg)	7.1E4	1.2E5	ー
平均分子量	366	548	ー
密度 25℃ (g/kg)	0.91	1.09	JIS K 2249
動粘度 (mm²/s)	32 (測定温度：40℃)	170 (測定温度：25℃)	JIS K 2283
全酸価 (mg KOH/g)	＜0.1	ー	JIS K 2501
引火点 (℃)	220	210	JIS K 2265
流動点 (℃)	-20	-15	JIS K 2269
特長	汎用油	耐熱安定性	ー
適用ポンプ型式	PFL / F / ULK	U / ULK	ー
容器 (L)	18 / 1	0.5	ー

真空ポンプは屋外で使用できますか？

屋内での使用を想定して設計しているため、基本的には屋外では使用できません。

真空ポンプの排気スピードはどうやって計るのですか？

排気速度Sは導入している気体の流量Qを圧力Pで割ることによって求められます。

（S=Q/P)

真空ポンプは多くの種類がありますが、それぞれのポンプがどの圧力領域で使用することができるのか教えてください。

詳細をまとめたページがございますのでリンク先をご覧ください。

https://showcase.ulvac.co.jp/ja/how-to/selection-guide/vacuum-pump-guide.html

真空ポンプ　セレクションガイド

真空ポンプを選定するには、まず必要となる排気速度を見積った上でさらにその用途に適した種類の中からポンプを選ぶことが大切です。各種ポンプの用途、特長、性能を一覧にしました。ご使用目的に合わせてお選び下さい。

圧力単位（Pa）

ドライ真空ポンプ

ドライポンプは、油や液体を真空室内に使用しない真空ポンプのため、クリーンな真空が得られます。大気圧から到達圧力までの広範囲で使用可能です。

アルバックのドライポンプは、研究・開発・生産用途に適したハードプロセス対応モデルからライトプロセスモデルまで幅広いラインナップがあります。
使用目的・用途・アプリケーションからお選び頂けます。
どのくらいまで減圧したいか、真空槽の中で何がしたいかによって、お勧めする真空ポンプが変わってきます。
また真空にしたい空間の大きさによって真空ポンプの大きさも変わってきます。

油回転真空ポンプ（大型）

油回転真空ポンプは、真空ポンプ油を使うことにより回転部の動きを滑らかにしたり、真空封止して気密性を高めることで高い排気性能を実現します。安価、コンパクト、据え付けが容易、油回転真空ポンプ単体で容易に真空が得られるなど、経済性・操作性に優れたポンプです。

アルバックの油回転真空ポンプは、多種多様な使用用途に応じた幅広いラインナップがあります。
使用目的・用途・アプリケーションからお選び頂けます。

油回転真空ポンプ（小型）

小型油回転真空ポンプは、200L/min以下シェアNo1メーカーのアルバック機工社製のポンプです。

どのくらいまで減圧したいか、真空槽の中で何がしたいかによって、お勧めする真空ポンプが変わってきます。

小型油回転真空ポンプ Gシリーズは、コストパフォーマンスに優れたベーシックなシリーズです。
小型油回転真空ポンプ GHD / GLD / GKSシリーズ（スタンダードタイプ）は、サーマルプロテクター搭載に逆流防止機構を付加した当社推奨のポンプです。
小型油回転真空ポンプ GCDシリーズ（耐食型）は、接ガス部面に表面処理を施した油回転真空ポンプのケミカルタイプです。

メカニカルブースタポンプ

メカニカルブースターポンプは、油回転ポンプやドライポンプなどの粗引きポンプと組み合わせることにより、粗引きポンプの排気速度が落ち込む圧力領域において排気速度を大幅にアップさせることができます。

アルバックのメカニカルブースタポンプは、多種多様な用途に応じた幅広いラインナップがあります。使用条件によって空冷でもご利用いただけます。

アルバックのメカニカルブースターポンプの詳細はこちらから

ターボ分子ポンプ

ターボ分子ポンプは、分子流領域において排気速度が一定で、連続したガス排気が可能です。また、再生作業などの保守の必要が無く、水素・ヘリウムに対して高い排気性能を実現します。

アルバックのターボ分子ポンプの詳細はこちらから

スパッタイオンポンプ

スパッタイオンポンプは超高真空の発生に利用される代表的なポンプのひとつです。
イオン真空ポンプは、陽極と陰極で構成されたポンプセルに電場を印加する簡単な動作原理のため、機械的振動や騒音なく超・極高真空を得られます。また、広く分析機器、加速器等に使用され完全オイルフリーで取り付け方法を選びません。

ULVACは、極・超高真空領域での排気特性を強化した新型素子（アクター素子）の開発と磁場の最適化を図ることにより『アクターポンプ PSTシリーズ』を開発しました。

アルバックのスパッタイオンポンプの詳細はこちらから

オイルセレクションガイド

油回転真空ポンプ、油拡散真空ポンプに使用する純正油「ULVOIL」は、真空ポンプの性能をフルに引き出すことばかりではなく、ポンプの寿命やメンテナンス期間の延長、運転経費までを含めたトータルコストの低減を実現します。

詳しくはこちら

真空ポンプにはどのような種類がありますか？

一般にポンプとは流体に圧力や速度などを付与しながらこれを輸送する装置をいいます。

真空技術でいうポンプの場合は、これよりももっと広い意味が与えられています。

この一般的なポンプの定義のとおり、真空装置内の気体をより高い圧力の外部へ輸送し、排出するものがあります。たとえば、油回転真空ポンプやメカニカルブースタポンプのような機械式真空ポンプ、あるいは油拡散ポンプやエゼクタポンプのような蒸気噴射式真空ポンプです。ほかに気体を外部に運び出すのではなく、ただ気体分子を捕えてしまうだけのものがありますが、これは気体に対して受動的であり、厳密にはポンプとはいえないかもしれません。

これらにはゲッタ作用を利用した真空ポンプや低温における吸着、凝結作用を利用した真空ポンプなどがあります。

つまり真空ポンプとは、気体を除去する機能をもつ装置であるということができます。作動原理によって真空ポンプを大別すると気体輸送式真空ポンプ、気体溜込式真空ポンプになります。

これらの真空ポンプの種類をまとめると図のようになります。

真空ポンプの種類

該非判定結果報告書
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ULVOIL　B-6 ULVOIL　BLUE　OIL　68 ULVOIL　D-11 ULVOIL　D-23 ULVOIL　D-31 ULVOIL　R-2 ULVOIL　R-4 ULVOIL　R-42 ULVOIL　R-7 ULVOIL　R-72 ULVOIL　R-7000 ULVOIL　R-80 ULVOIL　R-82 ULVOIL　R-82G ULVOIL　B-6 ULVOIL　BLUE　OIL　68 ULVOIL　D-11 ULVOIL　D-23 ULVOIL　D-31 ULVOIL　R-2 ULVOIL　R-4 ULVOIL　R-42 ULVOIL　R-7 ULVOIL　R-72 ULVOIL　R-7000 ULVOIL　R-80 ULVOIL　R-82 ULVOIL　R-82G

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