スパッタイオンポンプ
スパッタイオンポンプの導入・購入・検討について
スパッタイオンポンプは、電場と磁場を利用してガス分子をイオン化します。イオン化された分子は、電場によって加速され、固体のターゲット表面に衝突します。この衝突により、分子は表面に埋め込まれ、真空が生成されます。このプロセスは、特に不活性ガスや反応性ガスの除去に効果的です。
スパッタイオンポンプは、10^-11 Torr以下の超高真空を達成できるため精密な実験や製造プロセスに最適であり、機械的な可動部品がないため長寿命でメンテナンスが少なくて済み、油を使用しないことでクリーンで汚染のない真空環境を提供し、さらに他の真空ポンプと比較して消費電力が低くエネルギー効率が高いという利点があります。
