スパッタイオンポンプ

PST シリーズ用コントローラ

GST-07L-B

アルバック

CPU搭載によるマルチ機能化されたスパッタイオンポンプコントロールです。

特長

  • 小型・軽量
    CPU搭載によるマルチ機能化。
    この1台で全てのスパッタイオンポンプ(PSTシリーズ)の制御が可能。
  • 通信機器標準装備
    外部通信制御機能が標準装備されているので、遠隔操作・自動化運転が可能。
  • XHV対応
    自動起動回路およびソフトスタート機能搭載により、ポンプセルの汚染を最小限に抑えることが可能。(→特許第1340297号他出願中)
  • 安全機能向上
    操作スイッチの誤操作防止機能および各種保護用インターロック機能搭載。耐熱・耐寒および電気特性に優れたハイフロンフッ素樹脂高圧ケーブルの採用。
    特定有害物質の使用制限(RoHS指令)対応。
    CEマーキング対応。

用途

  • 加速器
  • 電子顕微鏡
  • 分析機器

仕様

組合せポンプ アクターポンプ(全てのPSTシリーズ)
動作圧力 10-2 to 10-4Pa以下
表示範囲 表示方法 デジタル表示 (7セグメントLED表示)
表示内容
a)出力電流表示 mA. μAの2レンジ自動切換え(LINEAR表示)
b)出力電圧表示 DC0.0~7.5kV(H または L)(1レンジLINEAR表示)
c)圧力表示 Pa, mbr
(1×10-8~1×10-2Pa)
(1×10-10~1×10-4mbar)
出力開放電圧 DC+7.5kV
(パネル面スイッチによりH.Lの2点設定切り換え H.Lの設定電圧は約1.0~7.5kVボリューム可変)
出力電流 DC31mA以下
入力電圧・電流 AC100~115V±10% ・ 50/60Hz~3.0A
AC200~240V±10% ・ 50/60Hz~1.5A
MONITOR端子出力信号 パネル7セグメント表示に比例した信号を出力
各レンジDC0~10V F.S.  100kΩ以上
圧力セットポイント 2点
REMOTE/LOCAL 前面パネルスイッチにより切替
各種入力機能付(REMOTEコネクタ付)
(リモート制御、RS232C通信制御搭載)
保護機能 エラー表示/各種保護機能搭載
表示点灯で高電圧(HV)出力遮断(ERR 0~8)
スタートアップ保護用タイマー設定
(1~255分で可変)
停電後自動復帰可能
(HV-HOLDスイッチ操作)
使用環境 温度範囲 0~40℃
湿度範囲 85%以下(結露無し)
付属品 入力ケーブル3m
質量 本体:約4kg
外形寸法 W x H x D W240×H99×D370mm(ラック取付金具除く)

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