スパッタイオンポンプ

PST シリーズ

PSTー400CXII/AXII

アルバック

スパッタされた活性チタンによるゲッター作用を利用した超高真空ポンプ(アクターポンプ)です。

特長

  • 極・超高真空対応。ISO規格のテストドームをつけて10-10Pa台の到達圧力を実現。
  • 希ガス排気強化型(AX2型)はアルゴンに対し2倍の排気性能を実現。(当社比)
  • 超高真空領域において大きな排気速度を実現。
  • 短時間で超高真空領域まで排気可能。
  • 極・超高真空領域における優れた起動特性。(放電が超高真空領域まで持続)

用途

  • 加速器
  • 電子顕微鏡
  • 電子線描画装置
  • 振動を嫌う分析装置
  • 極・超高真空環境の利用など

仕様

排気速度(再生排気速度)
1×10-7Pa時
N2 0.36m3/s(CX2・AX2)
Ar: 0.04m3/s(CX2)
0.19m3/s(AX2)
到達圧力 10-10Pa台
動作圧力 <3.0×10-3Pa(推奨値)
(最大動作圧力1×10-3Pa)
*GST-07Lコントローラ使用時
内容積 約0.014m3
ポンプ素子数 CX2型セル×4式・AX2型セル×4式
接続フランジ型式 UFC203
印加電圧 DC+7.5kV
標準ベークアウト温度 250°C
質量 約124kg (ヒーター付)
外形寸法 W×D×H 296×544×376 mm
ヒータユニット所要電力 単相200V 約800W

ダウンロード

カタログ、図面、I/Oデータのダウンロードには「ユーザー登録(無料)」が必要です。
ユーザー登録がまだの方はユーザー登録ページよりご登録いただきますようお願いいたします。
すでにユーザー登録がお済みの方はこちらからログインしてください。

この製品に関するお問い合わせ

このサイトでは、お客様の利便性や利用状況の把握などのためにCookieを使用してアクセスデータを取得・利用しています。Cookieの使用に同意する場合は、
「同意しました」をクリックしてください。「個人情報保護方針」「Cookie Policy」をご確認ください。

同意しました