スパッタイオンポンプ

PST シリーズ

PST-100CX/AX

アルバック

スパッタされた活性チタンによるゲッター作用を利用した超高真空ポンプ(アクターポンプ)です。

特長

  • 極・超高真空対応。ISO規格のテストドームをつけて10-9Pa台の到達圧力を実証 。
  • 希ガス排気強化型(AX型)はアルゴンに対し2倍の排気性能を実現。(当社比)
  • 超高真空領域において大きな排気速度を実現。
  • 短時間で超高真空領域まで排気可能。
  • 超高真空領域における優れた起動特性。(放電が超高真空領域まで持続)

用途

  • 加速器
  • 電子顕微鏡
  • 電子線描画装置
  • 振動を嫌う分析装置
  • 極・超高真空環境の利用など

仕様

排気速度(再生排気速度)
N2: 0.10m3/s(CX ・ AX)
0.08m3/s(1x10-7Pa時)
到達圧力 10-9Pa台
動作圧力 <5.0×10-3Pa(推奨値)
(最大動作圧力1×10-2Pa)
*GST-07Lコントローラ使用時
内容積 約3.3 X 10-3m3
ポンプ素子数 CX II型セル×1式・AX II型セル×1式
接続フランジ型式 UFC152
印加電圧 DC+7.5kV
標準ベークアウト温度 250°C
質量 約37Kg(ヒーター付)
外形寸法 W×D×H 155×340×340 mm
ヒータユニット所要電力 単相200V 約320W

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