スパッタイオンポンプ

PST シリーズ

PST-110AU

アルバック

スパッタされた活性チタンによるゲッター作用を利用した超高真空ポンプ(アクターポンプ)です。

特長

  • 極・超高真空対応。ISO規格のテストドームをつけて10-9Pa台の到達圧力を実証。
  • 希ガス排気強化型(AU型)はアルゴンに対し2倍の排気性能を実現。(当社比)
  • 超高真空領域において大きな排気速度を実現。
  • 短時間で超高真空領域まで排気可能。
  • 超高真空領域における優れた起動特性。(放電が超高真空領域まで持続)

用途

  • 加速器
  • 電子顕微鏡
  • 電子線描画装置
  • 振動を嫌う分析装置
  • 極・超高真空環境の利用など

仕様

再生排気速度
(1.0×10-7 Pa時)

N2 0.06m3 /sec
※最大0.11m3 /sec
Ar -
到達圧力 10-9Pa
動作圧力(*1) 推奨値 <4.5×10-3Pa
内容積 6.5×10-33
エレメント数 2式
※交換可能
印加電圧 DC+7.5kv
放電強度特性値 6.6A/Pa
フランジ口径 UFC152
ベークアウト温度 250℃
加熱ヒータ 設定なし
質量 36.5kg
外形寸法 W×D×H 171×387×293mm
使用環境 温度範囲 5~40℃
湿度範囲 85%以下(結露なきこと)
ポンプ固定ボルト穴寸法 4箇所-M6
深さ15mm
推奨コントローラー GST-07L-B

*1)GST-07L-B:コントローラ使用時

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