真空ポンプ セレクションガイド
真空ポンプを選定するには、まず必要となる排気速度を見積った上でさらにその用途に適した種類の中からポンプを選ぶことが大切です。各種ポンプの用途、特長、性能を一覧にしました。ご使用目的に合わせてお選び下さい。
圧力単位（Pa）
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スパッタイオンポンプ
PST シリーズ
PST-200CXII/AXII
アルバック
スパッタされた活性チタンによるゲッター作用を利用した超高真空ポンプ（アクターポンプ）です。
特長
- 極・超高真空対応。ISO規格のテストドームをつけて10-10Pa台の到達圧力を実現。
- 希ガス排気強化型（AXU型）はアルゴンに対し2倍の排気性能を実現。（当社比）
- 超高真空領域において大きな排気速度を実現。
- 短時間で超高真空領域まで排気可能。
- 極・超高真空領域における優れた起動特性。（放電が超高真空領域まで持続）
用途
- 加速器
- 電子顕微鏡
- 電子線描画装置
- 振動を嫌う分析装置
- 極・超高真空環境の利用など
仕様
| 排気速度(再生排気速度) 1×10-7Pa時 |
|
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| 到達圧力 | 10-10Pa台 | ||||
| 動作圧力 | <3.8×10-3Pa(推奨値) (最大動作圧力1×10-3Pa) *GST-07Lコントローラ使用時 |
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| 内容積 | 約0.011m3 | ||||
| ポンプ素子数 | CX2型セル×2式・AX2型セル×2式 | ||||
| 接続フランジ型式 | UFC203 | ||||
| 印加電圧 | DC+7.5kV | ||||
| 標準ベークアウト温度 | 250°C | ||||
| 質量 | 約65kg (ヒーター・カバー付) | ||||
| 外形寸法 W×D×H | 296×361×376 mm | ||||
| ヒータユニット所要電力 | 単相200V 約600W |
スパッタイオンポンプにおいて、出力ケーブルを連結延長しても問題ありませんか？
高電圧の為、推奨できません。標準長５mから５m刻みで最長65mまでオプション対応していますので、必要長の出力ケーブルを手配ください。
スパッタイオンポンプの出力ケーブルの耐熱温度を教えてください
250℃となります。
スパッタイオンポンプを2台並べて使用しても問題ありませんか？
並べて設置しても、ポンプ同士に影響を与える程の磁場は発生していないため、特に問題はありません。
真空ポンプは屋外で使用できますか？
屋内での使用を想定して設計しているため、基本的には屋外では使用できません。
真空ポンプの排気スピードはどうやって計るのですか？
排気速度Sは導入している気体の流量Qを圧力Pで割ることによって求められます。
（S=Q/P)
真空ポンプは多くの種類がありますが、それぞれのポンプがどの圧力領域で使用することができるのか教えてください。
詳細をまとめたページがございますのでリンク先をご覧ください。
https://showcase.ulvac.co.jp/ja/how-to/selection-guide/vacuum-pump-guide.html
真空ポンプ セレクションガイド
ドライ真空ポンプ
ドライポンプは、油や液体を真空室内に使用しない真空ポンプのため、クリーンな真空が得られます。大気圧から到達圧力までの広範囲で使用可能です。
アルバックのドライポンプは、研究・開発・生産用途に適したハードプロセス対応モデルからライトプロセスモデルまで幅広いラインナップがあります。
使用目的・用途・アプリケーションからお選び頂けます。
どのくらいまで減圧したいか、真空槽の中で何がしたいかによって、お勧めする真空ポンプが変わってきます。
また真空にしたい空間の大きさによって真空ポンプの大きさも変わってきます。
使用目的・用途・アプリケーションからお選び頂けます。
どのくらいまで減圧したいか、真空槽の中で何がしたいかによって、お勧めする真空ポンプが変わってきます。
また真空にしたい空間の大きさによって真空ポンプの大きさも変わってきます。
油回転真空ポンプ（大型）
油回転真空ポンプは、真空ポンプ油を使うことにより回転部の動きを滑らかにしたり、真空封止して気密性を高めることで高い排気性能を実現します。安価、コンパクト、据え付けが容易、油回転真空ポンプ単体で容易に真空が得られるなど、経済性・操作性に優れたポンプです。
アルバックの油回転真空ポンプは、多種多様な使用用途に応じた幅広いラインナップがあります。
使用目的・用途・アプリケーションからお選び頂けます。
油回転真空ポンプ（小型）
小型油回転真空ポンプは、200L/min以下シェアNo1メーカーのアルバック機工社製のポンプです。
どのくらいまで減圧したいか、真空槽の中で何がしたいかによって、お勧めする真空ポンプが変わってきます。
ULVACは、極・超高真空領域での排気特性を強化した新型素子（アクター素子） の開発と磁場の最適化を図ることにより『アクターポンプ PSTシリーズ』を開発しました。
- 小型油回転真空ポンプ Gシリーズは、コストパフォーマンスに優れたベーシックなシリーズです。
- 小型油回転真空ポンプ GHD / GLD / GKSシリーズ（スタンダードタイプ）は、サーマルプロテクター搭載に逆流防止機構を付加した当社推奨のポンプです。
- 小型油回転真空ポンプ GCDシリーズ（耐食型）は、接ガス部面に表面処理を施した油回転真空ポンプのケミカルタイプです。
メカニカルブースタポンプ
メカニカルブースターポンプは、油回転ポンプやドライポンプなどの粗引きポンプと組み合わせることにより、粗引きポンプの排気速度が落ち込む圧力領域において排気速度を大幅にアップさせることができます。
アルバックのメカニカルブースタポンプは、多種多様な用途に応じた幅広いラインナップがあります。使用条件によって空冷でもご利用いただけます。
ターボ分子ポンプ
ターボ分子ポンプは、分子流領域において排気速度が一定で、連続したガス排気が可能です。また、再生作業などの保守の必要が無く、水素・ヘリウムに対して高い排気性能を実現します。
スパッタイオンポンプ
スパッタイオンポンプは超高真空の発生に利用される代表的なポンプのひとつです。
イオン真空ポンプは、陽極と陰極で構成されたポンプセルに電場を印加する簡単な動作原理のため、機械的振動や騒音なく 超・極高真空を得られます。また、広く分析機器、加速器等に使用され完全オイルフリーで取り付け方法を選びません。
イオン真空ポンプは、陽極と陰極で構成されたポンプセルに電場を印加する簡単な動作原理のため、機械的振動や騒音なく 超・極高真空を得られます。また、広く分析機器、加速器等に使用され完全オイルフリーで取り付け方法を選びません。
ULVACは、極・超高真空領域での排気特性を強化した新型素子（アクター素子） の開発と磁場の最適化を図ることにより『アクターポンプ PSTシリーズ』を開発しました。
真空ポンプにはどのような種類がありますか？
真空ポンプにはどのような種類がありますか？
一般にポンプとは流体に圧力や速度などを付与しながらこれを輸送する装置をいいます。
真空技術でいうポンプの場合は、これよりももっと広い意味が与えられています。
この一般的なポンプの定義のとおり、真空装置内の気体をより高い圧力の外部へ輸送し、排出するものがあります。たとえば、油回転真空ポンプやメカニカルブースタポンプのような機械式真空ポンプ、あるいは油拡散ポンプやエゼクタポンプのような蒸気噴射式真空ポンプです。ほかに気体を外部に運び出すのではなく、ただ気体分子を捕えてしまうだけのものがありますが、これは気体に対して受動的であり、厳密にはポンプとはいえないかもしれません。
これらにはゲッタ作用を利用した真空ポンプや低温における吸着、凝結作用を利用した真空ポンプなどがあります。
つまり真空ポンプとは、気体を除去する機能をもつ装置であるということができます。作動原理によって真空ポンプを大別すると気体輸送式真空ポンプ、気体溜込式真空ポンプになります。
これらの真空ポンプの種類をまとめると図のようになります。
真空ポンプの種類
該非判定結果報告書ダウンロード
該非判定結果 イオンポンプSDSダウンロード
オプションパーツ・消耗品
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