真空ポンプ セレクションガイド
真空ポンプを選定するには、まず必要となる排気速度を見積った上でさらにその用途に適した種類の中からポンプを選ぶことが大切です。各種ポンプの用途、特長、性能を一覧にしました。ご使用目的に合わせてお選び下さい。
圧力単位(Pa)
スパッタイオンポンプ
PST シリーズ
アルバック
スパッタされた活性チタンによるゲッター作用を利用した超高真空ポンプ(アクターポンプ)です。
排気速度(再生排気速度) 1×10-7Pa時 |
|
||||
到達圧力 | 10-10Pa台 | ||||
動作圧力 | <3.8×10-3Pa(推奨値) (最大動作圧力1×10-3Pa) *GST-07Lコントローラ使用時 |
||||
内容積 | 約0.011m3 | ||||
ポンプ素子数 | CX2型セル×2式・AX2型セル×2式 | ||||
接続フランジ型式 | UFC203 | ||||
印加電圧 | DC+7.5kV | ||||
標準ベークアウト温度 | 250°C | ||||
質量 | 約65kg (ヒーター・カバー付) | ||||
外形寸法 W×D×H | 296×361×376 mm | ||||
ヒータユニット所要電力 | 単相200V 約600W |
高電圧の為、推奨できません。標準長5mから5m刻みで最長65mまでオプション対応していますので、必要長の出力ケーブルを手配ください。
250℃となります。
並べて設置しても、ポンプ同士に影響を与える程の磁場は発生していないため、特に問題はありません。
屋内での使用を想定して設計しているため、基本的には屋外では使用できません。
排気速度Sは導入している気体の流量Qを圧力Pで割ることによって求められます。
(S=Q/P)
詳細をまとめたページがございますのでリンク先をご覧ください。
https://showcase.ulvac.co.jp/ja/how-to/selection-guide/vacuum-pump-guide.html
真空ポンプを選定するには、まず必要となる排気速度を見積った上でさらにその用途に適した種類の中からポンプを選ぶことが大切です。各種ポンプの用途、特長、性能を一覧にしました。ご使用目的に合わせてお選び下さい。
圧力単位(Pa)
ドライポンプは、油や液体を真空室内に使用しない真空ポンプのため、クリーンな真空が得られます。大気圧から到達圧力までの広範囲で使用可能です。
油回転真空ポンプは、真空ポンプ油を使うことにより回転部の動きを滑らかにしたり、真空封止して気密性を高めることで高い排気性能を実現します。安価、コンパクト、据え付けが容易、油回転真空ポンプ単体で容易に真空が得られるなど、経済性・操作性に優れたポンプです。
アルバックの油回転真空ポンプは、多種多様な使用用途に応じた幅広いラインナップがあります。
使用目的・用途・アプリケーションからお選び頂けます。
ターボ分子ポンプは、分子流領域において排気速度が一定で、連続したガス排気が可能です。また、再生作業などの保守の必要が無く、水素・ヘリウムに対して高い排気性能を実現します。
一般にポンプとは流体に圧力や速度などを付与しながらこれを輸送する装置をいいます。
真空技術でいうポンプの場合は、これよりももっと広い意味が与えられています。
この一般的なポンプの定義のとおり、真空装置内の気体をより高い圧力の外部へ輸送し、排出するものがあります。たとえば、油回転真空ポンプやメカニカルブースタポンプのような機械式真空ポンプ、あるいは油拡散ポンプやエゼクタポンプのような蒸気噴射式真空ポンプです。ほかに気体を外部に運び出すのではなく、ただ気体分子を捕えてしまうだけのものがありますが、これは気体に対して受動的であり、厳密にはポンプとはいえないかもしれません。
これらにはゲッタ作用を利用した真空ポンプや低温における吸着、凝結作用を利用した真空ポンプなどがあります。
つまり真空ポンプとは、気体を除去する機能をもつ装置であるということができます。作動原理によって真空ポンプを大別すると気体輸送式真空ポンプ、気体溜込式真空ポンプになります。
これらの真空ポンプの種類をまとめると図のようになります。
この製品に関するお問い合わせ
スパッタされた活性チタンによるゲッター作用を利用した超高真空ポンプ(アクターポンプ)です。
排気速度(再生排気速度) 1×10-7Pa時 |
|
||||
到達圧力 | 10-10Pa台 | ||||
動作圧力 | <3.8×10-3Pa(推奨値) (最大動作圧力1×10-3Pa) *GST-07Lコントローラ使用時 |
||||
内容積 | 約0.011m3 | ||||
ポンプ素子数 | CX2型セル×2式・AX2型セル×2式 | ||||
接続フランジ型式 | UFC203 | ||||
印加電圧 | DC+7.5kV | ||||
標準ベークアウト温度 | 250°C | ||||
質量 | 約65kg (ヒーター・カバー付) | ||||
外形寸法 W×D×H | 296×361×376 mm | ||||
ヒータユニット所要電力 | 単相200V 約600W |
このサイトでは、お客様の利便性や利用状況の把握などのためにCookieを使用してアクセスデータを取得・利用しています。Cookieの使用に同意する場合は、
「同意しました」をクリックしてください。「個人情報保護方針」「Cookie Policy」をご確認ください。