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スパッタイオンポンプ
PST シリーズ
PST-200CXII/AXII
アルバック
スパッタされた活性チタンによるゲッター作用を利用した超高真空ポンプ（アクターポンプ）です。
特長
- 極・超高真空対応。ISO規格のテストドームをつけて10-10Pa台の到達圧力を実現。
- 希ガス排気強化型（AXU型）はアルゴンに対し2倍の排気性能を実現。（当社比）
- 超高真空領域において大きな排気速度を実現。
- 短時間で超高真空領域まで排気可能。
- 極・超高真空領域における優れた起動特性。（放電が超高真空領域まで持続）
用途
- 加速器
- 電子顕微鏡
- 電子線描画装置
- 振動を嫌う分析装置
- 極・超高真空環境の利用など
仕様
| 排気速度(再生排気速度) 1×10-7Pa時 |
|
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| 到達圧力 | 10-10Pa台 | ||||
| 動作圧力 | <3.8×10-3Pa(推奨値) (最大動作圧力1×10-3Pa) *GST-07Lコントローラ使用時 |
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| 内容積 | 約0.011m3 | ||||
| ポンプ素子数 | CX2型セル×2式・AX2型セル×2式 | ||||
| 接続フランジ型式 | UFC203 | ||||
| 印加電圧 | DC+7.5kV | ||||
| 標準ベークアウト温度 | 250°C | ||||
| 質量 | 約65kg (ヒーター・カバー付) | ||||
| 外形寸法 W×D×H | 296×361×376 mm | ||||
| ヒータユニット所要電力 | 単相200V 約600W |
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