油拡散ポンプ
油拡散ポンプの導入・購入・検討について
油拡散真空ポンプは、加熱された油を蒸発させて油蒸気を生成します。この油蒸気は、ノズルを通って高速で噴射され、ガス分子と衝突します。衝突したガス分子は、油蒸気の流れに乗って排気口に向かって移動し、真空が形成されます。このプロセスは、特に高真空を必要とするアプリケーションにおいて非常に効果的です。
油拡散真空ポンプは、10^-7 Torrから10^-9 Torrの高真空を達成できるため多くの産業用途に適しており、他の高真空ポンプと比較して初期コストが低く経済的に導入しやすい上、シンプルな構造により長期間にわたって安定した性能を発揮する信頼性と耐久性を持ち、半導体製造、金属加工、研究開発などのさまざまな分野で広範囲に利用されています。
油拡散ポンプ
PFL
ULVACのPFL型油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟは､長年の研究･豊富な製作経験を活かして､設計･製作されています｡ 22B ～ 52B までの 4 機種をﾗｲﾝｱｯﾌﾟしています｡ 数多くの真空炉などの大型真空装置･高真空生産設備に採用されていて､その実用性能を高く評価されています｡
