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油拡散ポンプ

BWシリーズ

BW-02

アルバック

油拡散ポンプから吸気側への油蒸気の逆流を抑えます。

特長

  • 真空容器内を油拡散ポンプの蒸気汚染から守ります。
  • 排気抵抗が極力少なくなるように設計しています。
  • BW-04BとBW-06Bはアダプタをセットすることで更に油蒸気の逆流量を抑えることが可能です。

仕様

型式 BW-02 BW-04B BW-06B BW-10 BW-14 BW-20 BW-22 BW-36 BW-52
コンダクタンス [L/sec] 100 940 2200 3130 5000 13000 14000 54000 75000
外径寸法 [mm] D φ120 φ149 φ199 φ350 φ450 φ625 φ680 φ1065 φ1480
T 16 28 28 44 50 152 101 113 165
t 16 25 25 22 22 24 26 28 35
冷却水取合(サイズ) Rc 1/8 Rc 1/4 Rc 1/4 Rc 1/4 Rc 3/8 Rc 3/8 Rc 3/8 Rc 3/8 Rc 1/2
冷却水量
[L/min]
1.5 0.7 1 2 2 3 3 5 5
重量 [kg] 1 1.3 1.7 7.6 11 22 28 66 200

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