油拡散ポンプ

PFLシリーズ

PFL-22

アルバック

ULVACのPFL型油拡散ポンプは、長年の研究・豊富な製作経験を活かして、設計・製作されています。
数多くの高真空生産設備に使用されて、その実用性能を高く評価されています。

特長

  • 同一口径の他のポンプに比べて、より大きな排気速度をもっています。
  • 油蒸気の逆流が少ないポンプです。
  • 所要電力、油量が少なく効率のよい経済的なポンプです。
  • ヒータの交換、修理が容易です。
  • 溶接技術は極めて優れており、かつヘリウムリークディテクタによって完璧な洩れテストが実施されていますので、機械的にも、真空的にも信頼度は最高です。

仕様

型式 PFL-22 PFL-36 PFL-52
排気速度(L/sec) 10000 34000 70000
到達圧力(Pa)*1 3.0×10-4
臨界背圧(Pa) 16 6.7 16
作業開始時間(min) 40 60 60
作動油 ULVOIL D-11
油量(L) 5 13 27
水温(℃) 19~25℃
冷却水取合(サイズ×系統数) Rc 1/2×2 Rc 1/2×2 Rc 1/2×4
Rc 3/8×2
冷却水量(L/min) 12 38 50
電圧仕様 200V / 3φ
所要電力(kW) 8 始動時 22
定常時 11
始動時 45
定常時 30
ヒーター種類 電熱器 電熱器 電熱器
推奨補助ポンプ*2 PMB-040C+PKS-070
(PMB1200D+PKS-030)
PMB-040C+PKS-070
(PMB1200D+PKS-070)
(PMB2400D+PKS-070)
PMB-060C+PKS-070×2台
PMB2400D+PKS-070
外径寸法(mm)*3 A 480 725 1000
B 630 1022 2000
H 1330 1732 2845
吸気口 VG550 VG900 VG52相当inch
排気口 VG150 VG250 VG350
質量(kg) 290 650 1400
オイルレベルゲージ ビューポート ビューポート ビューポート
サーモスタットオプション 有り 有り 有り
サーモスタット設定温度(℃) 180 110 110

水冷バッフル(PFL用)

型式 BW-22 BW-36 BW-52
コンダクタンス(L/sec) 14000 54000 75000
外径寸法 [mm] D φ680 φ1065 φ1480
T 101 113 165
t 26 28 35
冷却水取合(サイズ) Rc 3/8 Rc 3/8 Rc 1/2
冷却水量
[L/min]
3 5 5
重量 [kg] 28 66 200

*1 到達圧力は電離真空計により、冷却水温度20℃の場合です。
*2 補助ポンプの選択は、ここでは拡散エゼクタポンプの最大流量に対して行われていますが、
一般には粗引の時間を考慮して、ここに示したものより大きめのメカニカルブースターポンプ
および油回転真空ポンプを用いる事が適当です。
*3 その他の寸法については、弊社Webサイトに掲載のCADデータでご確認ください。

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